國立交通大學
電子工程學系 電子研究所碩士班
碩士論文
使用 I 射線步進機的雙重圖形曝光技術以及其應用在
元件製作之研究
A Study on Double Patterning Technique with i-line
Stepper and Its Application to Device Fabrication
研 究 生：謝瑞桀
指導教授：林鴻志 博士
黃調元 博士
使用 I 射線步進機的雙重圖形曝光技術以及其應用在
元件製作之研究
A Study on Double Patterning Technique with i-line
Stepper and Its Application to Device Fabrication
研 究 生：謝瑞桀 Student: Rei-Jay Hsieh 指導教授：林鴻志 博士 Advisors: Dr. Horng-Chih Lin
黃調元 博士 Dr. Tiao-Yuan Huang
國立交通大學
電子工程學系 電子研究所碩士班
碩士論文
A Thesis
Submitted to Department of Electronics Engineering & Institute of Electronics College of Electrical and Computer Engineering
National Chiao-Tung University in Partial Fulfillment of the Requirements
for the Degree of Master in
Electronic Engineering August 2009
Hsinchu, Taiwan, Republic of China
