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以有機金屬化學氣相沉積法成長磷化銦鎵及砷化鎵異質接面雙載子電晶體之銅金屬化研究

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Academic year: 2021

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(1)

國立交通大學

材料科學與工程研究所

博士論文

以有機金屬化學氣相沉積法成長磷化銦鎵及砷

化鎵異質接面雙載子電晶體之銅金屬化研究

The Study of Copper Metallization for InGaP/GaAs

HBTs Grown by MOCVD

研 究 生 : 張俊偉

指導教授 : 張 翼 博士

(2)

以有機金屬化學氣相沉積法成長磷化銦鎵及砷化

鎵異質接面雙載子電晶體之銅金屬化研究

The Study of Copper Metallization for InGaP/GaAs HBTs

Grown by MOCVD

研 究 生：張俊偉 Student: Chun-Wei Chang 指導教授：張 翼 博士 Advisor: Dr. Edward Yi Chang

國立交通大學

材料科學與工程研究所

博士論文

A Dissertation

Submitted to Department of Materials Science and Engineering College of Engineering

National Chiao Tung University In Partial Fulfill of the Requirements

For the Degree of

Doctor of Philosophy in Engineering 2007

Hsinchu, Taiwan, Republic of China

參考文獻

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