Ie製程發展的舵手一徐震球
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徐震球學長小檔案: 出生日期:民國 44年5月27日 學 歷:國立交通大學六十六年電子物理系畢 國立交通大學七十六年電子工程研究所碩士 經 歷:工研院電子所製程部工程師 大王電子製程部副理 聯華電子製程部副理 荷蘭PhilipS 製程發展覽潔工程師 現 任:聯華電子製程發展部經理 圖編輯部66級交大電物系畢業的徐震球，是在 71年進
入聯電的。目前的工作是製程發展，主要是發展 IC下 一代之技術，此外，也包括一些製程整合工作。對於 半導體業的未來，徐震球認為台灣的 IC工廠競爭將會 十分激烈，尤其是各公司由外國聘請回來酌專家，將 對本地有很大的刺激及提升力量，所以未來應該是很 樂觀的。 徐震球提起在校時，到他們這一屆便由真空管改 學積體電路，可見交大跟半導體有相當的關聯。此 外， r 交大的學風是比較自由的 J '徐震球說。因 R&D工作本身比較自由，可以自己去蒐集資料，解決 問題，不受太大的拘束，所以，自由的學風對於未來 R&D 工作是相當適切的。 從交大畢業已 17年的徐震球在選拔人才時，較關心 其在學校所學的是否印象很深刻，而不太在意其對半 導體的熟悉度如何。當然若有此方面背景是有點幫 助，但他認為個人對本業的學習態度、敬業精神更重 要，畢竟一個人的學習時間是很長的。 現職聯電製程發展部經理的徐震球，對於三廠(八吋廠) setup 的 learning curve 維紹，他認為應該
歸功於公司的體質相當健全;畢竟製程發展只是一個 最後要完成執行的單位，無法 handle 一整個龐大的 廠。雖然聯電三廠成立之際，公司已把很多資深人員 安排過來，但現在仍有許多問題等著去克服。最好將 要轉過來的製程相關文獻及可能面臨到的問題收集 好，以便不時之需，這才是最重要的。
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A 徐震球學長與兒子合影 閉門一門 …""-，，，:..=，心 A 有關聯電製程的發展，不論是與國內或國外的大廠相比，其技 術進步是很快的。但現在聯電想要跟國際大廠合作，做專業代工， 競爭就更激烈了。徐震球認為，除要保持技術領先外，品質及可靠 度也相當重要，因現在 IC講究的就是速度、品質和可靠度，且客戶 往往會以世界上最佳的製程能力來挑戰，而這種挑戰正可以使我們 的技術能力更佳，品質更好，更能立足於國際上。 進一步又提到未來是否會過至1製程瓶頸這個問題，徐震球表示，依目前運作及技術來看 'O.I ，u m應、不是limit '雖然可控制性如
何還不太清楚，目前技術的關鍵是在Steppe'r '但現在要出來一種
Excimer
laser' 可將製程push至IJO.25 間，使純元素之製程能力有機 會達到0.1μm附近。至於E-beam或 X-ray應用在產業之Stepper上的 日期是一直往後延，徐震球覺得，製程發展仍有一條寬廣的路可 走。 此外，關於未來半導體的需求，致力於下一代IC發展的徐震 球，其看法是:台灣將變成一個專業代工密集的區域。「就像我們 要買電子零件，會先想到中華商場一樣，所以若台灣成為代工密集 的區域，雖然競爭激烈，但也因此吸收到更多的客戶，因為來到台灣可貨比三家，選擇性高，就如One
stop
shopping而無須再到其他國家，如新加坡、馬來西亞...等。雖然彼此競爭激烈，但對台灣整 體產業有莫大的助益。」徐震球說。 對於交大的培育，徐震球感覺交大好像一直著重在實用科學， 如電工、電物、電信，所以工業界成功的學長很多，但是在理論科 學上似乎較薄弱，而且交犬似乎尚未有諾貝爾獎得主。優秀的交大 人可以彼此互相勉勵，一同將母校的精神更加發揚光大!
