96 工研院產業學院
微機電系統技術基礎實作研習班
主辦單位：工業技術研究院 產業學院
執行單位：台灣師範大學機電科技學系、工業教育學系 研習地點：台灣師範大學科技學院
研習時間：96. 11. 09 (五) 至 96. 11. 10 (六) 共二天
ITRI
一、研習宗旨：
隨著科技的進步，產品不斷往輕薄短小發展，促使製造技術朝向精密 化、細微化及高密度化演進，因而衍生出次世代產業需求之「微 機 電 系 統 (micro-electro-mechanical system, MEMS)」技術。此技術整合光、機、
電、控制、化學等多重科技，將微感測器(μ-sensor)、微致動器(μ-actuator)、
微處理器(μ-processor)等元件模組化於單一晶片(chip)上，提高微機電系統 的應用性與附加價值。下圖即表示先進的質譜儀，仍可藉由 MEMS 技術再 微小化形成質譜儀晶片，如此不僅可節省空間與資源，並增加儀器使用的 便利性。輕如毫髮的微型機電系統未來在光電影像、生化醫療、資訊儲存、
與精密機械等應用領域將扮演重要角色，預估公元 2009 年可創造出全世界 兩百五十億美金的產值，因此 MEMS 技術已被科技界公認為二十一世紀高 科技產業的重要技術指標，故值得國內在此技術上投注更多的心力。
工研院產業學院、臺灣師範大學機電科技學系與工業教育學系為使產 業界工程師或研發人員能深入了解此一新興工程技術，培養微機電系統技術 的產業界工程師或研發人員，使微機電系統技術的基礎觀念與教育知能能夠 推廣，特舉辦此微機電系統基礎技術實作研習班，其活動主要目的如下：
1. 增進產業界工程師或研發人員對微機電技術與應用領域的暸解。
2. 提供產業界工程師或研發人員研發微機電系統產品的內容與方向。
3. 提升產業界工程師或研發人員微機電製程的基礎實作能力。
質譜儀
70 Kg, 30000 cm3,1200 W Europa Scientific, UK
微質譜儀晶片 0.2 Kg, 3 cm3,0.5 W
DARPA, USA MEMS
二、師資：
姓 名 學 歷 現職 & 經歷 楊啟榮 國立中山大學
機械工程博士
現職：臺灣師範大學機電系 教授 經歷：臺灣師範大學機電系 副教授
臺灣師範大學機電所 助理教授 臺灣師範大學工教系 助理教授 國科會精密儀器發展中心 副研究員
三、研習內容：
日 期 時 間 課 程 內 容 講 員 08:30~09:00 報到、始業式
09:00~12:00 z 微機電製程技術：
1. 矽基微加工製程 2. 非矽基微加工製程
z 微機電元件與應用技術：
1. 光學微機電元件 2. 新興能源應用元件
楊啟榮
12:00~13:00 午餐、休息 11 月 09 日
(五)
13:00~16:00 1. 黃光微影製程實作
2. 反應性離子蝕刻製程實作 3. 濕式蝕刻與懸浮結構製作
楊啟榮 與 (技術助教) 09:00~12:00 1. 精密電鑄製程實作
2. 光輔助電化學蝕刻製程 3. 濺鍍製程實作
4. 蒸鍍製程實作
楊啟榮 與 (技術助教) 12:00~13:00 午餐、休息
13:00~16:00 1. CO2 超臨界乾燥應用於避免 懸浮結構黏附技術實作 2. 精密網版印刷製程實作 3. 矽-玻璃陽極接合實作 4. 精密量測儀器功能與操作
說明
楊啟榮 與 (技術助教) 11 月 10 日
(六)
16:00~16:30 討論、結業式
四、實作研習設備：微光機電系統實驗室http://mems.ie.ntnu.edu.tw/
微光機電技術實驗室為 10000 等級、面積 90 m2之無塵室，環境控制 條件為相對濕度 45 ∼ 55 ﹪、溫度為 21±1℃，其內分為黃光微影實驗室，化 學蝕刻與電鑄實驗室及微系統封裝與檢測實驗室，整個微機電技術實驗室佈 局如下圖所示。
微系統封裝與檢測實驗室 黃光微影實驗室 化學蝕刻與電鑄實驗室
