[PDF] Top 20 氧化鋅薄膜和單晶導電機制之研究
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氧化鋅薄膜和單晶導電機制之研究
... 4-2 氧化鋅薄膜(ZnO films) 4-2-1 樣品資訊與原始實驗數據 本研究所量測的多晶氧化鋅樣品為薄膜。樣品本身是由天津大學李志青教授的 學生李志新所製作,是以射頻濺鍍方式,在不同氧氣、氬氣比例的環境中產生一 系列的薄膜樣品。表 4-3 為各個樣品的基本條件,因為我們量薄膜的方式是在真 ... See full document
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溶液法半導性氧化鋅薄膜製備及其薄膜電晶體特性研究
... 在 薄 膜 電 晶 體 應 用 研 究 中 , 探 討 低 溫 成 長 之 氧 化 鋅 薄 膜 在 沒 有 退 火 (annealing)的情況下製作之元件基本電性,其次以溶膠-凝膠法製備不同鎂離子摻 ... See full document
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溶膠凝膠氧化鋅薄膜電晶體氧化處理之研究
... 誌 謝 首先誠摯的感謝指導教授劉柏村教授,老師悉心的教導使我得以一窺 氧化鋅薄膜電晶體領域的深奧,不時的討論並指點我正確的方向,使我在 這碩士生涯中獲益匪淺。另外,還要感謝中山物理系張鼎張教授在學術研 究上給我的指導,使我的研究可以更為順利。 ... See full document
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原子層沉積法成長單晶氧化鋅薄膜之光學與晶體結構特性研究
... 我們成功地利用原子層沉積法成長纖維鋅礦結構單晶氧化鋅薄膜於 c-plane 與 m-plane 藍 寶石碁板,並且利用 X-ray 繞射與穿遂式電子顯微鏡研究其晶體結構特性。 經過高溫退 ... See full document
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氧化鋅薄膜之低溫電性傳輸行為研究
... 雖然近十幾年來已經有很多關於純的或被摻雜的氧化鋅薄膜導電機制的研究報導 與參考文獻,但還是沒有一個讓大家完全認同的看法,尤其是在低溫區域的導電機制 上,更是觀察到各種不同的現象,實在令人非常驚訝與好奇。 在比較高的溫度或室溫附近的溫度,n ... See full document
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氧化鋅薄膜之微結構與奈米機械特性研究
... 2.6.3 表面聲能元件(SAW) 近幾年來,由於通訊科技的發達,表面聲能元件(SAW;Surface Acoustic Wave)的研究越來越受到重視,到目前為止,單晶結構的材 料,像是LiNbO 3 、 LiTaO 3 等已被廣泛應用在表面聲能元件的電極基板 上。然而因為需要在高頻下操作,表面聲能元件的微小輕薄化、便宜 ... See full document
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金屬有機化學氣相沉積磊晶氧化鋅薄膜於氧化物單晶基板之研究
... μm,外觀無色透明[38],YSZ(111)與氧化鋅(0002)具有相近結構, 晶格差異約10.8%,接面示意圖如圖8。當釔含量介於4-5%為正交晶結構 ...到氧化鋅單晶做同質磊晶研究,但以氧化鋅做為基板可能較不易分辨磊晶 ... See full document
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於鋁酸鑭單晶基板成長非極性氧化鋅薄膜之研究
... It can be shown, from the concept of substrate engineering by enlarging the lattice distance of substrate along one direction, that (114) plane of LaAlO 3 with a miscut angle of 19.47[r] ... See full document
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藉由大氣電漿沉積主動層之氧化鋅薄膜電晶體之研究
... 摘要 本論文利用大氣電漿沉積氧化鋅作為元件的主動層,並且成功發展 出高效能的薄膜電晶體。在X光繞射儀(XRD)分析中可以發現由大氣電 漿沉積之氧化鋅具有優選的(002)晶向。氧化鋅薄膜對可見光的穿透率超 ... See full document
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溶膠凝膠法沉積鋯摻雜氧化鋅薄膜電晶體之研究
... 張鼎張教授,在學術研究上能給我最詳盡的指導,讓我的研究可以更為順 利。 此外,還要感謝敏全、震鑠、泓緯、志宗、興華、皓彥、一德學長不 厭其煩的指出,我研究中的缺失並給予我莫大的協助與建議,也感謝亞諭、 ... See full document
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可應用於太陽能電池之奈米結晶矽量子點埋入式摻鋁氧化鋅薄膜與p型氧化鋅薄膜之特性研究
... 研究所的生活雖然只有短短 兩年,卻令我受益匪淺也印象深刻。不論是每一 次的實驗室聚餐、與夥伴們的吵吵鬧鬧、在排球場上的廝殺或半夜在奈米中心做 實驗,都讓我難以忘懷。雖然在研究過程中,遇到很多的挫折與失敗,但有實驗 室夥伴們的支持與幫助,及自己永不放棄的精神,使得研究終於有所成果。在此, ... See full document
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氧化鋅薄膜之顯微結構及物性與電性研究
... 品與操作環境的要求較為嚴苛,僅能測量具有相當導 電性的表面,且一般得在超高真空下操作以保持樣品 表面的潔淨,因此在應用上較受限制。相對的,AFM 是利用探針與表面間的作用力來量測表面特性,因此 樣品可不導電,對操作環境的要求也較少,可在一般 大氣環境下甚至在液體中操作。此外,藉由使用適當 ... See full document
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正型氧化鋅薄膜之製備及電學性質之研究
... 還有眾多兩年中陪伴我的朋友、同學,感謝實驗室的加星學長、秀玉學姊、 志益學長、明志學長,謝謝你們在實驗上的指導,以及在我心情低落的時候開導 我。感謝 co 哥,samo 哥,還有沛勳,洋ㄟ,謝謝你們把 sputter 修好,讓我做 實驗實無後顧之憂。還有我的一堆好同學,如果沒有你們陪我一起唸書,一起打 牌,一起唱歌,一起聯誼,我的碩士班生活將會是黑白的,你們讓我這兩年增加 ... See full document
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氧化鋅薄膜半導體的持續性光電導特性之研究 林宏昇、范榮權
... 本實驗是在不同腔體溫度的條件下,測量氧化鋅的穿透率及吸收係數,以及於不同氮氣分壓的條件下,量測氧化鋅的穿透 率與光激發螢光效應。其中,由穿透率可觀察到,不同腔體溫度的吸收率皆達到75%以上,其中3500C、3750C的光穿透 ... See full document
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透明氧化鋅之薄膜電晶體技術開發研究
... 成具備透明與半導體特性之氧化鋅薄膜;藉由在濺鍍過程時,改變通 入氧氣的流量及製程完成後的後續退火處理,我們成功建立一個得以 在室溫環境之下,均勻氧化鋅薄膜的沈積且具有最佳薄膜電晶體電性 表現的半導體層( Semiconductor layer ... See full document
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水溶液法成長氧化鋅薄膜及其薄膜電晶體製作
... 液體直接觸及眼睛會造成嚴重刺激。高濃度可能造成頭痛、噁心等症狀,大量 的暴露會造成意識喪失及死亡。異丙醇對水中生物有高度毒性,八小時日時量 平均容許濃度為400ppm;因此,不管哪一種系統的溶劑與安定劑都是有揮發 性的液體,甚至為有毒性的化學物質,故若用溶膠凝膠法製作氧化鋅薄膜,整 個製程其實對人體有很大的潛在危隩;因此,本實驗主要目的希望開發出與溶 ... See full document
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未摻雜之氧化鋅薄膜電晶體的製作與特性分析
... iii Acknowledgement 首先,我要特別感謝我的兩位指導老師,黃調元博士與林鴻志博士。黃老師總是很 有耐心的教導我們半導體物理與製程的觀念,且總是面帶笑容,讓學生相處起來不會有 太大的壓力,因而更能夠親近老師、勇敢地發問。而林老師在實驗上總是不吝嗇、絲毫 ... See full document
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顯示器用氧化鋅薄膜電晶體研發(II)
... 五、 結論 本研究以鋯離子摻雜氧化鋅半導體製作薄 膜電晶體,藉由鋯離子之摻雜縮小氧化鋅薄膜之 晶粒大小,因而降低薄膜之載子濃度,而改善薄 ... See full document
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氧化鋅壓電層對鎳鐵薄膜磁性調控之研究
... 利用此結構量測壓電力顯微鏡與磁光柯爾效應來觀察薄膜的壓 電性質與磁性質,發現施加一電壓差於氧化鋅薄膜,會使薄膜因為電 場產生逆壓電效應來形變,交互作用下引致鎳鐵薄膜層的磁特性產生 ... See full document
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