國 立 交 通 大 學
應用化學研究所
碩 士 論 文
利用自製奈米壓印機來進行奈米結構製程的研究
Development of nanoimprint techniques and their
applications with a home-made nanoimprintor
研究生:劉子漢
指導教授:孫建文 博士
利用自製奈米壓印機來進行奈米結構製程的研究
Development of nanoimprint techniques and their applicaiotns with a home-made nanoimprintor
研究生:劉子漢 Student:Zih-Han Liou 指導教授:孫建文 博士 Adviser:Dr. Kien-wen Sun
國 立 交 通 大 學 應用化學所 碩 士 論 文
A Thesis
Submitted to Department of Applied Chemistry College of Science
National Chiao Tung University In Partial Fulfillment of the Requirements
For the degree of Master of Science
In
Applied Chemistry June 2008
Hsinchu, Taiwan, Republic of China