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利用自製奈米壓印機來進行奈米結構製程的研究

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Academic year: 2021

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國 立 交 通 大 學

應用化學研究所

碩 士 論 文

利用自製奈米壓印機來進行奈米結構製程的研究

Development of nanoimprint techniques and their

applications with a home-made nanoimprintor

研究生:劉子漢

指導教授:孫建文 博士

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利用自製奈米壓印機來進行奈米結構製程的研究

Development of nanoimprint techniques and their applicaiotns with a home-made nanoimprintor

研究生:劉子漢 Student:Zih-Han Liou 指導教授:孫建文 博士 Adviser:Dr. Kien-wen Sun

國 立 交 通 大 學 應用化學所 碩 士 論 文

A Thesis

Submitted to Department of Applied Chemistry College of Science

National Chiao Tung University In Partial Fulfillment of the Requirements

For the degree of Master of Science

In

Applied Chemistry June 2008

Hsinchu, Taiwan, Republic of China

參考文獻

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