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3.9 案例九:疆界物件,半導體維修的「物裡」學

3.8.1 數字搜查線

方恆通是聯華電子在台南科學園區的技術經理35,進入公司已經十年了。當時,他 對半導體工程師的專業與股票分紅懷有憧憬,於是自交通大學電子物理研究所畢業後,

34 CSI 就是 Crime Scene Investigation,意指犯罪現場調查工作。

35 案例中的人物為虛構,情節主要在說明在半導體業界的知識管理問題,以及普遍的社群學習議題。

就踏入這個行業。

在財務吃緊的狀況下,各家半導體廠不得不大幅降低人事成本。聯華也必須要裁減 20%的人力。人力不足下,維持廠務正常運作是個艱鉅的挑戰。剛進廠的新手,難以透 過教育訓練馬上到現場支援故障維修。進廠多年的老手,很多也只是會處理基礎性維修 工作,對高難度現場維修根本使不上力。

「 為 什 麼 新 手 學 不 會 現 場 維 修 ? 為 什 麼 這 些 老 手 都 上 線 多 年 了 還 這 麼 沒 有 sense?」方恆通心中抱怨著。

裁員後,方恆通只剩下八成的人力,工作卻有增無減。但是,要培養一位獨當一面 的現場工程師至少得花五年,每年訓練經費少說也要六千萬元新台幣。這對半導體廠商 不算多,因為每次機台故障所導致的生產損失可能高達六億元。如何讓現場工程師早點 能「上線」,成了方恆通當前要務。

半導體產業分工細密、變化快速、專業知識複雜,需要來自電子、化學、機械、物 理等專業領域的工程師。這些工程師多是台灣一流學府畢業的碩博士高材生。這些傑出 的工程師每日必須工作超過十二小時,才能維持正常營運,全球供應鏈也才不會斷線,

工作壓力可想而知。

早上六點半,方恆通已經抵達廠內。三分之二的工程師也都開工了。工廠最近生產 問題特別多,每個工程師手上約有三到五個待解決的案件,讓方恆通忙碌不已。方恆通 一抬頭,就看見進廠兩年的「菜鳥」張鈞平,擔任製程工程師。這位新手一臉疲態,雙 眼無神地吃著泡麵。張鈞平也畢業於交大電子物理所,一年前剛進廠裡時,自信的神態 與實習表現贏得公司的賞識,如今卻已消瘦成這般模樣。

看到方恆通走了過來,張鈞平趕緊回神報告最新的狀況:「報告學長,昨天晚上你 離開公司後,蝕刻那邊又丟了一個 issue 過來36,說是我們這邊的機台出問題,等下要 開跨部門會議。」

方恆通拍一下頭說:「喔…真的會瘋掉,又是蝕刻過來的喔?是阿國接手的嗎?他 常常搞不清楚狀況,你再去確認一次。」

洪國真,小名阿國,也是製程工程師,進入公司五年多,雖然非常認真,卻被大家 認為沒有「sense」,常找不出問題關鍵。洪國真急忙進廠,一臉緊張地向方恆通報告,

36 維修過程中各部門會提出各種不同的議題,討論問題的責任歸屬問題,大家都習慣用英文「issue」

來溝通有哪些冒出來的問題。半導體製程分為四大步驟,分屬四大部門:擴散、黃光、蝕刻、薄膜。

「學長,我前天比對過,我們上次提出的辦法行不通,現在我們這邊的生產線已經停擺 36 小時,預估損失超過 300 萬元了!」

「這下麻煩了,泓志一定很生氣。鈞平,跟我一起進 Fab 廠37!」方恆通無奈的說 著。李泓志是廠長,以治軍嚴謹出名。

「啊…好,那我先去上個洗手間,不然待會兒想上廁所要脫無塵衣很麻煩,」張鈞 平放下泡麵,起身轉往洗手間。

等待時,方恆通打開桌上電腦,打開電子郵件。一封來自現場的檢驗報告讓他膽顫 心驚:「2007 年 3 月 9 日晚間 7 點,有片晶圓在生產過程中遭到不明污染,污染範圍達 晶圓面積的三分之一,遠超過報廢標準。請各部門於 11 點集合舉行跨部門會議報告。」

「11 點就要開會,似乎有點趕。阿國,昨晚有個晶圓污染案件,等下 11 點就要開 會,先交給你處理,記得詢問詳細故障情況。」方恆通一邊交代著洪國真,一邊起身準 備和張均平進入晶圓廠。

換上無塵衣,兩人進入工廠後,方恆通看了現場,忍不住嘀咕幾句:「是誰在使用 黃金路徑啊?先前我們不是已經知道黃金路徑是無效的嗎,為什麼現在還在用?這樣批 量比對當然會發生問題。」

「黃金路徑」是晶片有問題發生時,先關掉可疑的機台,再用沒問題的機台重新生 產出一樣的晶片。方恆通對張鈞平說,「真是的...你把這個事情寫上 KM ,簡單描述 就好。」

11 點的跨部門會議開始了。現場檢驗部推斷晶圓污染可能來自一台擴散部門的機 器,與兩台薄膜部門的機器。會議結束後,方恆通吩咐洪國真與設備工程師陳漢宇一起 進工廠,檢查擴散部門的機台有沒有問題。兩人檢查後,確定擴散部門的機台沒問題,

方恆通才放心去吃午餐。

晚上 8 點在辦公室,一群人休息之餘,腦中仍不忘工作。方恆通叮嚀洪國真:「阿 國,下次別再排黃金路徑,這個方法在三個月前就失效了。」

37 Fab 廠就是半導體生產工廠,又稱 Fabrication laboratory,裡面有無塵設備,進入人員必須穿著無 塵衣。

38 KMS(Knowledge Management System)知識管理系統,簡稱 KM 或 KMS。為半導體工程師知識 分享的交流平台,每年聯電規定工程師要寫一定數目的 KM 案例分享,除了促進大家的知識進步之外,

KM 質優的工程師更可以領取獎金。

洪國真一臉納悶回答,「真的嗎?可是 KM 上面沒有寫。」方恆通說,「KM 雖然沒 寫,不過以你的經驗應該能查出來問題吧。」洪國真不好意思地點頭:「是的,我會改 進。」

張鈞平匆匆忙忙從門口跑進來,喊著:「學長,今天早上的跨部門會議中提到那個 污染報廢晶片。因為產量很大,光今天薄膜部門停機,公司就損失了 220 萬元!目前還 沒找到解決辦法,若再下去,損失將更慘重!」大家聽到了,一陣嘩然,議論紛紛。

晚上 11 點,洪國真持續在知識系統上找尋與晶片污染相關的關鍵字。但是他搜尋 到的案件,都不符合需求。辦公室裡,只剩下洪國真以及陳漢宇,兩人埋頭苦幹直到體 力不支,才昏昏沉沉的睡去。