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（SPM）為基礎之奈米微結構製程與奈米表面結構量測分析技術，是目 前發展新興奈米科技的重要設備；本實驗室於本國科會計劃前獲教育部 補助，目前已架設一套多功能掃瞄探針顯微鏡系統SPA-400，並已安裝 測試完畢，儀器解析度可順利取得雲母(mica)的表面原子週期結構，以 及操控探針場致氧化奈米結構圖案，此掃瞄探針顯微鏡系統可用來觀測 陽極化鋁的表面奈米結構，並經由調控不同的成長條件用以分析陽極化 鋁自組織成長的機制。實驗過程成長的陽極化鋁薄膜可進一步應用做為 一維奈米材料製備之模版，特別是金屬磁性材料如鐵、鈷、鎳等，這些 材料在奈米尺度下所呈現的特殊磁學性質如磁異向性(magnetic
已架設測試多功能掃瞄探針顯微鏡(SPM；SPA-400)
陽極化鋁電源供應系統
b. MFM量測成果
磁區面積 : 1521.59 (nm)x 226.22 (nm)
橢圓形磁性薄膜MFM影像圖
橢圓形磁性薄膜磁化流程討論
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