[PDF] Top 20 低溫複晶矽薄膜電晶體之氟鈍化製程與可靠度的研究
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低溫複晶矽薄膜電晶體之氟鈍化製程與可靠度的研究
... 國誠、余俊、伯浩、宗元、梓翔、源俊、俊嘉、統億、錦石、子恆、張婷以及李 耀仁、林家彬學長,有你們的陪伴與討論,實驗過程不再枯燥乏味而是充滿著歡 樂。因為有你們的幫忙與笑聲,讓我能以快樂的心情面對實驗上與生活上的挑戰。 由衷地感激在實驗中曾給我幫助的朋友們,特別是計測實驗室的彭作煌先 ... See full document
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低溫複晶矽薄膜電晶體負偏壓溫度不穩定與天線效應之研究
... 接著,我們針對低溫複晶矽薄膜電晶體設計不同的天線結構,來探討天線效應對 元件特性和可靠度的影響。實驗結果發現,當元件具有較大的天線面積時,元件特性 ... See full document
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低溫複晶矽薄膜電晶體之遷移率與可靠度之研究
... 接下來,我要特別感謝謝明山學長,學長不僅在研究過程中都很熱心地幫助 我、指導我,在日常生活中也都特別的關心照顧我。另外要感謝已畢業的獻德學 長帶我進入薄膜電晶體這個領域,也要感謝郭柏儀學長在實驗上經驗的傳承,還 有小強學長、楊紹明學長、小賢學長、志仰學長、家文學長,感謝你們這些日子 ... See full document
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鎳金屬誘發側向結晶-低溫複晶矽薄膜電晶體之漏電流與可靠度研究
... 析度能夠進一步提升。然而利用薄膜電晶體方式驅動的液晶顯示器,其成像品質的好壞 與電晶體的特性有很大的關係,如漏電流、驅動電流、寄生電容、臨界電壓與開關速率 ... See full document
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低溫複晶矽薄膜電晶體之負偏壓溫度不穩定研究
... 張婷,與你們相處的時光總是充滿歡樂。 最後感謝我最親愛的家人,感謝我的父母李俊忠先生和張麗華女士無怨無悔 的將我拉拔長大,還記得數十年來,父親對兒子的多少期待,母親對兒子的多少 關懷,歷歷在目,無以回報,永識於心。也很感謝蕙質蘭心的女友書君,總是在 聽了我的牢騷之後給我繼續前進的動力。 ... See full document
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低溫複晶矽薄膜電晶體於背光下之電性研究
... 最後,我願將這份榮耀呈獻給我深愛的家人,父親-林水河先生、母親-林陳玉琴 女士、姐姐-林秀蓉小姐、以及弟弟-林成峯先生。感謝家人們的鼓勵,特別是父母親 多年來辛苦的教導與栽培,一直以來的支持與關懷,陪我度過了許多風雨與榮耀的時光, ... See full document
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低溫複晶矽薄膜電晶體於交流偏壓下之劣化特性研究
... 誌 謝 時光飛逝,短短二年研究所生涯即將結束了。想起當初服完兵役後覺得本 身能力並不是如此充足而就讀於中山大學光電所。經過二年的磨練與學習,使 我覺得我的知識與智慧更上一層樓了。在此,我首先感謝我的指導教授張鼎張 博士於我在學期間由於老師熱誠的教學以及時常教我們處事態度,使我於研究 ... See full document
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高性能多用途之新結構低溫複晶矽薄膜電晶體之製作
... 有縱向成長的晶粒及在源/汲極接面附近 之缺陷較少,因此藉由此法所製作出的複 晶矽薄膜電晶體相較於傳統結構與製程呈 現出較高的載子移動率、較低的次臨界擺 ... See full document
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複晶矽鍺與MILC在低溫複晶矽薄膜電晶體上之應用(III)---子計畫III:MILC低溫複晶矽薄膜電晶體之退火製程開發、新穎結構及小尺寸元件之製作及研究
... 道光罩,元件製作之圖案相依的金屬誘 化側向結晶之複晶矽薄膜電晶體。由實 驗結果顯示此元件的電特性,可藉由載 子遷移率的提昇以及較佳的閘極控制能 力,而大幅的改善。由實驗可知遷移率 ... See full document
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複晶矽薄膜電晶體之製程與可靠度之研究
... 再者,我要特別感謝王獻德學長與謝明山學長,學長在研究過程中都很熱心 地幫助我、指導我。尤其是在我徬徨無助、沮喪的時候,適時的拉我一把,讓我 能繼續堅持下去。另外還有實驗室的李名鎮學長、王哲麒學長、李宗霖學長、郭 柏儀學長、小強學長、建豪學長、楊紹明學長、小賢學長,感謝你們這些日子以 ... See full document
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低溫多晶矽薄膜電晶體變動性之可靠度的研究
... 低溫多晶矽薄膜電晶體變動性 之可靠度研究 Study of Reliability Variation for Low Temperature Polysilicon Thin Film Transistors.[r] ... See full document
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利用四氟化碳電漿處理提昇低溫覆晶矽薄膜電晶體之特性及可靠度
... 國誠、余俊,我永遠不會忘記因為計測實驗熬夜量 Charge Pumping 所以連續一 個禮拜都看到日出的那段日子。也要感謝實驗室的學弟們任逸、志仰與家文,尤 其在我做完實驗很累的時候,桑學弟的冷笑話往往都會讓我精神為之一振。感謝 ... See full document
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低溫快速金屬誘發非晶矽結晶化製作複晶矽薄膜電晶體
... 在非晶矽熔解階段,MILC 複晶矽薄膜表面經過(125,165 及 200 mJ/cm 2 )雷射退火照射過後如圖五所示,會隨著雷射能量增加而使得突起及凹下 的區域增加。這個改變趨勢並不會超出我們的預期因為非晶矽熔解區域面積會隨 ... See full document
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新穎製程及新穎結構的複晶矽薄膜電晶體之可靠度研究
... 此外也很感學實驗室各學長吳師道、陳經緯、楊中熹、彭辭修、王丁勇、羅文 政、陳漢譽、吳永俊、涂峻豪、蔡宗鳴、顏碩廷、陳致宏、楊富明、黃聖懿、胡佳 欣、胡心卉、陳怡誠、吳興華、張保安、張家榮、郭柏儀、楊政桓、吳元均、黃子 軒、陳稚軒、林泩宏等的帶領與指教,特別感謝吳永俊學長等在我的論文寫作與口 ... See full document
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氟離子佈植對低溫多晶矽薄膜電晶體之研究
... Acknowledgement 僅以此篇論文獻給我親愛的父母,感謝他們多年來的支持與鼓 勵,讓我能無後顧之憂的從事實驗研究,順利完成我的學業。 在交大求學的這兩年中,要特別感謝我的兩位指導教授,張俊彥 ... See full document
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低溫多晶矽薄膜電晶體光罩縮減製程開發與元件可靠度之研究
... LTPS 製程技術與 a-Si TFT 製程技術比較起來 LTPS 製程技術較 為繁雜, a-Si TFT 所需光罩一般為 5 道,LTPS-TFT 所需的光罩一般為 9 道,因此 LTPS-TFT 在 ... See full document
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新穎低溫多晶矽薄膜電晶體之製程與□定度分析
... 然我還是喜歡去趣味一下) .如果不是你陪我去面對國防部的問題,我想我還不知道在 那裡,也謝謝你二次在我半夜發高燒時,陪我去掛急診,也很懷念晚上和你在房間彼此 邀勵的時刻,最感謝就你借我電腦,讓我完成最後的論文;人星,我也不會忘了你用雞 精和煮美味的綠豆湯來鼓勵我,請我去spa徹底放鬆一下,讓我有更大動力去完成這 ... See full document
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複晶矽薄膜電晶體製程效應與偏壓溫度不穩定性之研究
... 誌謝 首先要向我的指導教授雷添福博士致上無限的謝意。兩年的研究生涯中,不 僅從老師身上學習到做研究的精神與方法,有老師的關心與鼓勵本論文才得以順 利完成。另外也要感謝聯華電子公司提供的機會,並提供生活上的協助,還有聯 ... See full document
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低溫複晶矽薄膜電晶體製作於可撓式基板之研究
... 候更一起實驗讓我不擔心無聊或太悶。從碩一機台考核一起經歷過製程實驗時候 的失敗、碩二時後量測問題時候的討論,一起走過風風雨雨,且總是在我迷惘困 惑的時候為我解惑,恭喜我們最後順利的走過這兩年。往後的日子希望能保持聯 絡一起加油!!實驗室的小劉、虛胖、維哲、阿寶、耿維、騰瑞、All Pa、紹文和 國珮學弟妹們當然也是 lab ... See full document
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