第三章 高科技廠房建廠特性之研究
3.2 高科技廠房之機電工程廠務營建特性分析 .1電力供應系統(Power Supply Systems)
3.2.3 水處理供應系統(Water supply Systems) 一、原水(Raw Water)：
原水一般皆為自來水，少部分使用井水河水或湖水。水源是 否充足供應一值是高科技產業頭疼的問題，以致於大多數高科技 產業皆設有儲水或備用水源之設施或方案，如筏基式地下儲水
池，深水井等。原水的主要用途為DI，飲用水、冷卻/循環用水之 源水、消防用水、生活用水等。
二、185℃高壓過熱水(185℃ Over Heated Water):
生產185℃高壓過熱水之設備為利用瓦斯或柴油燃燒方式產 生蒸氣或高壓熱水做為熱源的鍋爐(Boiler)。常見之方式為，以密 閉系統供應185℃之高壓熱水，利用熱交換方式將熱傳遞至需要加 熱之物質，如Hot DI,Steam Generator, 90℃Hot Water 等。經過熱交 換後之熱水會再回到鍋爐內加熱循環。
三、生活用水與飲用水系統Non-Potable and Potable Water System)：
生活用水即所謂之自來水，提供為員工日常生活之用水以及 園藝澆灌之用水。飲用水即所謂Potable Water，提供給全廠員工飲 用。源水經由初級過濾器及活性碳過濾器除去雜質後，送至RO逆 滲透設備除去水中之不純物，再以不銹鋼管線送至各飲水站，經 紫外線殺菌後，再送至飲水設備中做成熱飲水或冰飲水供員工飲 用。需特別注意的是飲用水必須不斷循環以防死水生菌，並且需 定期檢驗確保飲水安全衛生。
四、 90℃熱水(90℃ Hot Water)：
90℃熱水為一密閉系統，主要功能在於做為DI之熱源以及DI water MixBed，3B4T再生時加熱用，以185℃Over heated water為熱 源將HotWater Return之水在熱交換器之中加熱至90℃，再經泵輸送 至現場使用。
五、製程冷卻水(PCW, Process Cooling Water)：
製程冷卻水之主要用途在於提供Fab。內製程設備以及其他特 定設施之冷卻水。PCW為一密閉系統，使用過或回流回來之PCW 經過加壓泵加壓後，送之熱交換器與4.5℃之冰水做熱交換，保持 13.5℃，再經過濾器除去雜質後送至現場使用。PCW之供應管路 最好能設計成環路系統， 而且要先供應後回流，以使供應系統壓 力及水量保持全線平衡。
六、純水系統(DIW, De-Ionized Water)：
純水系統之主要用途在於提供Fab。內製程，化學供應系統，
實驗室之清潔，化學品混合，沖洗以及稀釋之用以及其他水系統 之補充水源。DI 可分為Cold DI(25℃) 及Hot DI(70℃) 兩種。源 水經由pretreatment,recovery, make-up, polishing 四道主要製程，除 去水中所有之雜質、不純物、微生物與離子以達到DI設定之規格。
Hot DI 則再經熱交換器與90℃熱水做熱交換保持溫度送至現場使 用。DI 系統之供應管路一定要保持回流以避免死水滋生細菌。
七、4.5℃冰水(4.5℃Chilled Water)：
4.5℃冰水之主要用途在於提供冷源以供給MAU/ AUH 降溫 除水，13.5℃冷水/ PCW 之熱交換冷源，高真空系統之water sealing 用。經過加藥處理之return 冰水，被送入冰水主機中做熱交換，
控制在4.5 ℃之溫度，再經冰水泵送至現場使用。
八、13.5℃冷水(13.5℃Cooled water)：
13.5℃冷水之主要用途在於提供冷源以供給VLF回風之冷卻 盤管。當Clean room 之回風經由VLF吸入時，需要再經過過濾冷
卻以符合無塵室的需求，13.5℃冷水即是負責將回風冷卻之功能。
13.5℃冷水之來源有兩種，一為之皆由Chiller產生，另一方式為4.5
℃與13.5℃做熱交換而得。
九、36.5℃溫水(36.5℃ warm water):
36.5℃溫水之主要用途在於提供熱源以供給MAU，AHU 之空 氣加熱以及DI，City Water之加溫。經MAU/ AHU冷卻盤管之空氣 已經降至露點(Dew Point)以下，送至使用場所前需先將溫度調高 至約18℃，36.5℃溫水盤管即負責此一功能，此外，DI以及City Water 則是因為需要控制供應溫度而需以36.5℃溫水加溫。36.5℃
溫水之來源為Chiller 之熱回收，此設計不但可節能也可節省 Chiller 冷卻水之用量。
十、乾燥蒸氣(Dry Steam):
乾燥蒸氣之主要用途在於提供濕源以供給MAU/AHU 加濕之 用. 當冬季外氣過於乾燥時，送入無塵室或使用場所之空氣，需要 噴入乾燥蒸氣以增加空氣之溼度，防止工作場所過度乾燥造成人 體不舒服或靜電過高造成電子產品損壞。乾燥蒸氣之來源為，185
℃過熱水與DI Water 熱交換得到蒸氣，再經除濕而得。
3.2.4 無塵室系統(Clean Room Systems)