[PDF] Top 20 鎳金屬矽化物與堆疊式結構對閘極氧化層可靠度之研究

... 會和自我對準製程有整合上的困難。最近，完全矽化鎳閘極被廣泛地 研究來取代金屬閘極，金屬矽化鎳閘極具有低電阻率、消除多晶矽閘 ... See full document

... 而導致會有殘影及對比差及反應速度慢等缺點，再加上又是採用多工方式驅動，驅動方 式較為複雜。因此此類型的顯示器要達到高解析度、高畫質與全彩的目標便十分困難。 但由於製造成本低廉因此部分低階的顯示器如手機上的面板便常用此技術。而目前被廣 泛研究的薄膜電晶體（TFT, Thin Film Transistor）是屬於主動矩陣式，此種技術由於利 ... See full document

... 超薄氮化矽閘極介電層之可靠度研究 A Study on the Reliability of Ultrathin Oxynitride Gate Dielectrics.. Tiao-Yuan Huang Dr.[r] ... See full document

... 還要謝謝學長嘴砲大宗諭、邱德鑫、學姊美君、阿壘、猴子明宏以，同學冠 迪、小宗育、智盟、翊鴻、高興、顏榮家、世安、啟瑞、才民、小橋、佑倫，豐 富了我碩士班兩年的生活。讓我有了這兩年的美好回憶。 還要感謝家人的支持，讓我無後顧之憂地致力於碩士學位。也要感謝無緣的 那一位在這兩年的陪伴與照顧,雖然無緣一起走到最後,還是感謝這段時間支持 ... See full document

... 其次要感謝的是實驗室的學長、同學、學弟們與指導或協助我完 成論文及實驗的陳巨峰學長、王育彬學長、劉重顯學長、謝政廷同學， 很感謝你們在實驗上的指導，讓我在研究論文時可以學到很多的專業 知識。另外要特別感謝同屆的同學們及學弟們，因為有你們的鼓勵以 及幫助，讓我在做實驗的時候得以解決許多問題，最後能順利完成論 文。 ... See full document

... 感謝陳茂傑教授，在兩年碩士班期間指引我方向，又給予我信任 與自由。老師治學嚴謹負責，指導學生卻總是理直氣和、從不疾言厲 色。有幸拜入老師門下，除了學業研究上的指點，這謙謙君子的大師 風範也讓學生有所體悟。感謝吳偉豪、王超群和吳振誠學長在這兩年 中的指導與協助，對我而言豪哥認真的身影已是 629 的必要風景，宛 ... See full document

... 其次我要感謝實驗室的學長、同學、學弟們與指導或協助我完成 論文及實驗的陳巨峰學長、王育彬學長、鄭文魁學長、謝政廷學弟以 及吳金濘學弟，很感謝你們在實驗上的指導，讓我在研究論文時可以 學到很多的專業知識，且在研究上能有一個很好的方向。另外要特別 感謝同屆的同學們，因為有大家的互相鼓勵以及幫忙，讓我在做實驗 的時候能解決很多問題，最後能順利完成論文。 ... See full document

... 討論時的幫忙，更是讓我體會到何為貴族生活的寫照。也感謝實驗室的同學鄭季豪(豪 哥)，謝謝你在這段期間給予的幫助，也謝謝你在我們出國開會與旅遊時一切的照顧， 並且從你身上我了解到好男人是怎麼一回事，我想這是我ㄧ輩子也沒有辦法達到的境 界。也感謝同學黃秉緯，感謝你在夏威夷時的相互照應。還有感謝也是低調界的林博 文同學，雖然兩年後你就先到業界去發展了，但也多虧了你，我們才有取之不盡用之 ... See full document

... 接著，我要特別感謝馬鳴汶學長與江宗育學長。馬學長在我最無助時伸出援 手幫助我，並且細心教導我做實驗及研究，令我受益不少。即使畢業後到業界去 工作，仍不時著關心、指導我，給予我很多幫助，在此衷心的感謝。江學長耐心 的一步步帶著我做實驗，同時也教導我很多研究以外的東西，這一年多來受到你 很多的照顧，亦致上由衷的謝意。此外，感謝王冠迪學長在量測分析方面的指導， ... See full document

... 1.2 堆疊式金屬閘極鰭式電晶體的發展 近 30 年來，隨著 CMOS 不斷地進行製程的改善及元件的微縮，電晶體可以 越做越小，晶圓上的電晶體數目也持續增加，切換速度也隨著電晶體的縮小而加 快，IC 性能不斷往上提升。然而由於尺寸不斷微縮，在由次微米世代進入奈米世 ... See full document

... 鈦金屬會與鈷金屬反應產生鈦鈷合金，大大降低鈷 矽化物的厚度。然而，鈦原子會擴散進入鈷金屬矽 化的晶界，也會改進鈷金屬矽化的熱穩定性。從計 畫中得知，鈦/鈷（125 /100 Å ）因為其具有足夠的 ... See full document

... 李義明 教授 國立交通大學電信工程研究所碩士班 摘要 在這篇論文中，首先我們製造了以二氧化鋯為閘極介電層的鍺金氧半電容，再來我 們使用了電性和物性分析來研究利用不同溫度的原子層化學沉積以及不同溫度的沉積 ... See full document

... 致謝 第一次完成一本著作的感覺，非常不一樣。在寫致謝的同時，也是在我 的研究所生涯畫下一個句點。短短的兩年內有不同的感觸，跨過了大學那段 青澀的年代，來到研究所遇到了恩師劉傳璽教授。在大學前的觀念就是念書 為了考試，考試為了成績；自從跟了劉教授之後，不僅對半導體有更深的認 識，也常常從劉教授身上學到了其他生活上的態度以及將來就業的心態，就 ... See full document

... 蘇俊榮學長、張伊鋒學長、藍文廷學長、李聰杰學長、房新原學長、 林賢達學長所給予的關懷與鼓勵，也很感謝同學雨霖、凱翔、銑泓、 振家、健銘、建松、行徽、香谷、志洋、丙章在研究上的相互砥礪。 也要感謝實驗室的 7 位學弟妹，讓實驗室更有樂趣。 ... See full document

... 誌謝 考上交大後，很幸運的進到羅正忠老師的實驗室。在這兩年中，不論是在課業 及論文遇到的困難，老師及學長都會適時地給我幫助，讓我總是克服一次又一次 的問題，才能順利地拿到這個學位。由衷的感謝我的指導教授-羅正忠博士，不 但在論文的研究方向給予我很明確的指示，更教我們做人的道理和處事應對的態 度，讓我們日後出社會，不單是學到了專業知識，也學到了正確的學習態度，跟 倫理規範。 ... See full document

... 奈米)將遭遇量子穿遂效應的問題而導致極大的洩電流,導致元件 可靠度上的問題。近年來使用高介電質材料來取代傳統以二氧化矽當 介電質層已廣泛被研究。相較於二氧化矽,由於在相同的等效厚度之 下高介電質物質有較厚的實際厚度,因此可以抵擋因量子的穿遂效應 ... See full document

... 誌謝 兩年多的研究所生涯，說長不長，說短不短，終於要告一段落了。這一篇論 文能夠順利完成，首先要感謝我的指導老師－簡昭欣教授。老師不只在學業上給 予我很大的幫助，在待人處事上也是教了我不少東西，老師總是不斷叮嚀我們在 未來職場上應有的態度，生怕我們一時疏忽給了主管不好的印象。相信在老師的 諄諄教誨下，我在未來職場上的路應該可以走得平順一些，也期許自己在公司裡 能夠有好的表現，不辜負老師的期待。 ... See full document

... 感謝曾經帶過我指導過我的學長姊，冉曉雯、彭杜仁、李明鎮、俞正明、李 介文、張子云、王哲麒、葉冠麟、王夢凡、呂嘉裕、林家彬、李耀仁，從你們身 上我學到做實驗的方法和態度。此外感謝我曾經帶過的學弟妹，曾健旭、王仁杰、 黃彥學、黃竣祥、謝佩珊、周明宏、劉美君和賴久騰，和我共同度過這段同甘共 苦的歲月。也感謝實驗室裡曾經一起研究一起歡笑一起打拼的夥伴，謝明山、游 ... See full document

... 的連線金屬成分，要有良好的阻擋特性。並且閘極材料本身不會滲入 氧化層造成損傷，或和氧化層反應。再者，要和閘極介電層材質界面 特性良好穩定，附著性高不易剝落，在製作金屬閘極時也不會對介電 ... See full document

... 感謝吳家豪、郭伯儀和吳偉成學長在這段期間給我的關懷與協助。 感謝國家奈米元件實驗室巫振榮先生、彭馨誼小姐、范庭瑋小姐以及蔣秋芬小姐在 製程技術上給予我的一切協助與支援，讓我能夠順利完成整個實驗。此外，感謝口試委 員賴朝松教授、林鴻志教授與陳振芳教授在口試時給我的建議與指導，讓我能夠了解自 己論文需要改進的地方以及作研究的方法。 ... See full document