[PDF] Top 20 低溫多晶矽薄膜電晶體元件C-V特性劣化行為之研究

... Study on the Behaviors of LTPS TFTs C-V degradation Characteristics. 研 究 生： 邱皓麟 Student : Hao-Lin Chiu[r] ... See full document

... ii 作複合的動作。我們研究直流偏壓狀態下多晶矽薄膜電晶體主要的兩大劣化機 制，熱載子效應與自發熱效應，這樣的劣化所導致的光漏電流亦會嚴重影響我們 在設計感測電路時的困難度。當光照在經過熱載子劣化後的元件，在空乏區域裡 ... See full document

... 進行分析，GB-TFT 為一含有主晶界在通道中央，NGB-TFT 中則僅有次晶界存 在，經過施加交流訊號測試，發現 GB-TFT 之劣化情形較 NGB-TFT 嚴重，我們 量測了此兩種元件之電容電壓曲線並進行通道電場電腦模擬，發顯 GB-TFT ... See full document

... 摘 要 在這篇論文中，我們研究了低溫複晶矽薄膜電晶體在交流訊號下的劣化。對 N-type 而言，當閘極電壓是從-15V 掃到 15V 時，我們觀察到元件的劣化只會和閘極脈波下降 ... See full document

... 國立交通大學 電子工程學系 電子研究所碩士班 摘 要 本論文研究應用低溫多晶矽(LTPS)技術，製造具有多晶矽奈米線通道 之薄膜電晶體。快速熱退火(RTA)是一種具有材料選擇性加熱的技術，應 ... See full document

... 低溫多晶矽薄膜電晶體光漏電流之研究 Study on Photo Leakage Current of Low Temperature poly Silicon Thin Film Transistors 研 究 生：胡晉瑋 Student：Chin-Wei Hu ... See full document

... 降電 電場 場結 結構 構改 改善 善低 低溫 溫多 多晶 晶矽 矽薄 薄膜 膜電 電晶 晶體 體特 特性 性之 之研 研究 究 Study on ... See full document

... 低溫多晶矽薄膜電晶體變動性 之可靠度研究 Study of Reliability Variation for Low Temperature Polysilicon Thin Film Transistors.[r] ... See full document

... 多 晶 矽 薄 膜 電 晶 體 (poly-Si TFTs) 基 於 其 優 於 非 晶 矽 薄 膜 電 晶 體 (amorphous silicon TFTs)的電流驅動能力，最近在液晶顯示器(AMLCD)及有機 ... See full document

... 發表期刊(研討會)日期： 97 年 11 月 28/29 日 3.該計畫是否有要衍生產學合作案、專利、技術移轉 □是 ▓ 否 請說明衍生項目： 計畫預期目標：1. 調整CMOS 8 mask Channel Doping 劑量範圍, 2. 元件特性及驅動 電路之消費電流規格, 3.比較八道光罩製程與九道光罩製程其元件負偏壓溫度不穩定 ... See full document

... 國立交通大學電子研究所碩士班固態組 2005 年 9 月 ~ 2007 年 6 月 論文題目： 利用低溫多晶矽技術於製造具有多晶矽奈米線通道的薄膜電晶體之研究 A Study of Thin-Film Transistors ... See full document

... 第四章 實驗結果與討論 4.1 實驗初期所遇的難題 最初在剛接觸低溫多晶矽的這個題目時，不知道從何處開始著 手，所以先參考了許多的文獻，知道有一些學者在研究討論這個題 目，因為我們實驗室跟某科技公司有產學合作，所以一開始的試片是 ... See full document

... 在無塵室的研究生涯，我特別感謝楊宗熺博士以及羅廣禮博士對於 真空設備上的指導以及學習待人處事的道理。還有，我要感謝李永祥 博士以及大同光電所林炯瑋教授特別的照顧我，包括低溫製程的經驗 傳承。同時，我也感謝快速電子實驗室的學長吳師道博士、陳經緯博 士、李宗霖博士、陳漢譽博士、羅文政博士、實驗室的同學聖懿以及 無法列舉實驗室的學弟妹，平時對我的照顧以及跟大家生活在這個屋 ... See full document

... 誌 謝 時光飛逝，短短二年研究所生涯即將結束了。想起當初服完兵役後覺得本 身能力並不是如此充足而就讀於中山大學光電所。經過二年的磨練與學習，使 我覺得我的知識與智慧更上一層樓了。在此，我首先感謝我的指導教授張鼎張 博士於我在學期間由於老師熱誠的教學以及時常教我們處事態度，使我於研究 期間獲得很多寶貴的知識，受益非淺。又因為老師所提供的實驗室資源充足， ... See full document

... 間的變異性對電路性能產生之影響。而從模擬結果，我們發現電晶體變異性行 為，也可以藉由定義原始資料的四分位差值來描述，與函數並無絕對相關，並且 也可以得到一個與真實分布類似的分布。因此我們在一般商用模擬軟體中，仍然 可以採用高斯分布來進行電路模擬，並可以得到比過去更加精準的模擬結果。 ... See full document

... 國 立 交 通 大 學 光電工程學系 光電研究所碩士班 碩 士 論 文 A Thesis Submitted to Department of Photonics Institute of Electro-Optical Engineering College of Electrical Engineering and Computer Science National[r] ... See full document

... thesis, many approaches, including techniques of excimer-laser-crystallized poly-Si thin films, advanced device structures, and diode-pumped solid-state (DPSS) continuous-wave (CW) laser annealing, have been proposed to ... See full document

... The p-channel LTPS TFTs were fabricated by the following sequence of processes and the cross section view of device is illustrated in Fig. 2-1. Firstly, a 3000Å-thick buffer oxide and 500Å-thick a-Si thin film was ... See full document

... 特別感謝逸哲和建文，給予我在 C-V 量測及學業生活時的一些建議，讓我可以持續 簡化量測步驟及時間並跟得到跟之前相同的測量結果。再一次要感謝同學昇翰，在交大 求學生活中一些瑣事及健身上的幫忙、指導和在口試前的協助。謝謝柏宇和一些好友在 我缺時段量測時，二話不說借時段給我，讓我順利完成實驗，也要謝謝 PTL 實驗室的全 ... See full document

... 時光飛逝，研究生生活即將結束，在實驗室裡所有的點點滴滴都是最美 好的回憶。在這兩年生活中，感謝所有伴我走過這段日子的實驗室成員。 感謝伯鈞學長包容我的笨拙，耐心教導帶領我完成整個實驗；還有書瑋、 世清、雅喨等學長於研究過程中給予建議；感謝漢博、書慶、詠恩、阿敏、 ... See full document