[PDF] Top 20 低溫複晶矽薄膜電晶體之遷移率與可靠度之研究

... 接下來，我要特別感謝謝明山學長，學長不僅在研究過程中都很熱心地幫助 我、指導我，在日常生活中也都特別的關心照顧我。另外要感謝已畢業的獻德學 長帶我進入薄膜電晶體這個領域，也要感謝郭柏儀學長在實驗上經驗的傳承，還 有小強學長、楊紹明學長、小賢學長、志仰學長、家文學長，感謝你們這些日子 以來的關心與指導。也要感謝伯浩、俊嘉、宗元、梓祥，你們這二年的陪伴、一 ... See full document

... 低溫複晶矽薄膜電晶體之溫度效應用 低溫複晶矽薄膜電晶體之溫度效應用 ... See full document

... 接著，我們針對低溫複晶矽薄膜電晶體設計不同的天線結構，來探討天線效應對 元件特性和可靠度的影響。實驗結果發現，當元件具有較大的天線面積時，元件特性 會發生不穩定的現象，特別是造成臨界電壓的不均勻分佈，另外在閘極偏壓應力 (gate-bias ... See full document

... 國誠、余俊、伯浩、宗元、梓翔、源俊、俊嘉、統億、錦石、子恆、張婷以及李 耀仁、林家彬學長，有你們的陪伴與討論，實驗過程不再枯燥乏味而是充滿著歡 樂。因為有你們的幫忙與笑聲，讓我能以快樂的心情面對實驗上與生活上的挑戰。 由衷地感激在實驗中曾給我幫助的朋友們，特別是計測實驗室的彭作煌先 生、教學實驗室的彭兆光先生，與奈米中心的徐秀鑾、林素珠、黃月美、楊月嬌、 ... See full document

... 析度能夠進一步提升。然而利用薄膜電晶體方式驅動的液晶顯示器，其成像品質的好壞 與電晶體的特性有很大的關係，如漏電流、驅動電流、寄生電容、臨界電壓與開關速率 ... See full document

... 張婷，與你們相處的時光總是充滿歡樂。 最後感謝我最親愛的家人，感謝我的父母李俊忠先生和張麗華女士無怨無悔 的將我拉拔長大，還記得數十年來，父親對兒子的多少期待，母親對兒子的多少 關懷，歷歷在目，無以回報，永識於心。也很感謝蕙質蘭心的女友書君，總是在 聽了我的牢騷之後給我繼續前進的動力。 ... See full document

... 最後，我願將這份榮耀呈獻給我深愛的家人，父親－林水河先生、母親－林陳玉琴 女士、姐姐－林秀蓉小姐、以及弟弟－林成峯先生。感謝家人們的鼓勵，特別是父母親 多年來辛苦的教導與栽培，一直以來的支持與關懷，陪我度過了許多風雨與榮耀的時光， 讓我能無後顧之憂，全力衝刺學業，終於不負所望完成學業，在此獻上我內心最深的謝 ... See full document

... 誌 謝 時光飛逝，短短二年研究所生涯即將結束了。想起當初服完兵役後覺得本 身能力並不是如此充足而就讀於中山大學光電所。經過二年的磨練與學習，使 我覺得我的知識與智慧更上一層樓了。在此，我首先感謝我的指導教授張鼎張 博士於我在學期間由於老師熱誠的教學以及時常教我們處事態度，使我於研究 期間獲得很多寶貴的知識，受益非淺。又因為老師所提供的實驗室資源充足， ... See full document

... 有縱向成長的晶粒及在源/汲極接面附近 之缺陷較少，因此藉由此法所製作出的複 晶矽薄膜電晶體相較於傳統結構與製程呈 現出較高的載子移動率、較低的次臨界擺 幅及漏電流。此外，既然晶粒的成長可藉 由人為控制，因此相較於傳統雷射再結晶 ... See full document

... 我才得以順利完成學位。最應該感謝的人就是吳翊鴻學長(小胖)及呂宜憲學長(阿 壘)。我想應該沒有第二個學弟妹可以同時收集到『NDL 雙煞』的暴怒紅牌吧! 正 所謂愛之深責之切，從你們身上獲得了太多太多的關愛及幫助，這學位可說是你 們賜予的。此外，也要謝謝郭柏儀學長在實驗及生活經驗上熱情分享，總讓我充 滿動力；呂侑倫學長(Allen)總不忘在落井下石後偷偷地拉我一把；江宗育學長默 ... See full document

... 雖然，可以利用鎳金屬壓印誘發結晶之方法來製作元件特性較佳，均勻 性較好之低溫複晶矽薄膜電晶體。但是，在複晶矽針狀結晶間仍然存在著 ... See full document

... 接下來，聿民要感謝的是指導我的馬鳴汶、江宗育還有葉啟瑞學長，感謝馬鳴汶和 葉啟瑞學長即使已在業界服務，但在忙碌之餘還是時常關心聿民的實驗進度並給予指 導。聿民最要感謝的是江宗育學長，感謝您從我碩一開始，就不辭辛勞地帶著我進無塵 室做實驗，你總是不厭其煩地跟我反覆解釋每一道製程步驟，因為您的悉心指導，讓聿 民對實驗的技巧越來越純熟，做事態度也越來越細心。另外在最後的量測和 data 分析 ... See full document

... 再者，我要特別感謝王獻德學長與謝明山學長，學長在研究過程中都很熱心 地幫助我、指導我。尤其是在我徬徨無助、沮喪的時候，適時的拉我一把，讓我 能繼續堅持下去。另外還有實驗室的李名鎮學長、王哲麒學長、李宗霖學長、郭 柏儀學長、小強學長、建豪學長、楊紹明學長、小賢學長，感謝你們這些日子以 來的關心與指導。也要感謝志仰、家文、仁杰、柏浩、源竣、俊嘉、宗元、梓祥、 ... See full document

... 低溫多晶矽薄膜電晶體變動性 之可靠度研究 Study of Reliability Variation for Low Temperature Polysilicon Thin Film Transistors.[r] ... See full document

... 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫成果報告 ※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※※ ※ ※ ※ 高均勻載子移動率之低溫複晶矽薄膜電晶體研製 ※ ... See full document

... 博 士 論 文 以準分子雷射結晶法製作高載子移動率 低溫複晶矽與矽鍺薄膜電晶體之研究 Study on High-Mobility Low-Temperature Polycrystalline Silicon and Silicon-Germanium Thin Film Transistors Fabricated by Excimer Laser Crystall[r] ... See full document

... － Interface state and LTPS TFTs Device Performance. 研 究 生：趙育誠 Student：Yu-Cheng Chao[r] ... See full document

... 再者，我要特別感謝張家文學長，學長不僅在研究過程中都很熱心地幫助 我、指導我，在日常生活中也都特別的關心照顧我。另外要感謝黃俊嘉學長在實 驗上經驗的傳承，還有楊學長、陳建豪學長、郭柏儀學長、陳志仰學長、馬鳴汶 學長、統億學長、錦石學長，感謝你們這些日子以來的關心與指導。也要感謝久 騰、明爵、仕傑、統億、文呈、冠良、文彥、子恆、張婷、春瑀，懷念與你們相 處的日子以及一起討論課業時的那股求知的熱情。 ... See full document

... 少此一漏電流的方案。這些方案包括了快速熱退火(Rapid thermal annealing, RTA)、在閘 極與汲極間插入一層氮化矽、以及改使用複晶矽鍺材料作為奈米線通道等。這數種方案 的特色被逐一比較並加以討論。 我們也提出並實作了一種新穎的測試結構，可以解析薄膜電晶體中熱載子衰退所發 ... See full document

... 感謝我的論文指導教授鄭晃忠博士，老師在研究上的熱心指導以及謙恭溫和 的處世態度，讓我獲益良多。感謝戴亞翔教授，以及中華映管股份有限公司，讓 我有機會參與交映計畫，學生藉由執行計畫的過程，學習到許多知識。 感謝這兩年帶著我成長學長們。特別感謝廖大傳學長的細心指導，辛苦你 了，你細心的從基本的機台操作跟製程經驗教起，到實驗的理論分析，讓我得以 ... See full document