[PDF] Top 20 應用於三維堆疊互補式金氧半元件之單一晶界的複晶矽薄膜電晶體之研究

... 讓我這一路走來更加輕鬆愉快。 感謝國立交通大學奈米中心與國家奈米元件實驗室的所有行政人員、工程師 及技術員提供優良的製程設備與研究環境，讓我的研究實驗得以順利完成。 感謝我最親愛的父母：林湧源先生與陳淑芬女士，因為有您們從小到大無微 ... See full document

... 低溫複晶矽薄膜電晶體應用於光感測之可行性 應用於光感測之可行性 應用於光感測之可行性 ... See full document

... 低溫複晶矽薄膜電晶體之溫度效應用 於溫度感測器之研究 於溫度感測器之研究 於溫度感測器之研究 ... See full document

... 其次要感謝NDML實驗室的大家，明瑞學長、志彥學長、兆欽學長、家豪學長、宜憲 學長、宇彥學長，還有竣承、効諭、欣哲、敬倫、弘森、猛飛、登緯、宣凱…等各位實 驗室學長，感謝各位學長不辭辛勞地在學業或是實驗上都給我很大的指導以及協助。謝 謝你們教導我如何使用實驗上的各種儀器設備，以及在專業知識領域上給予我適時指點 ... See full document

... 型通道複晶矽電晶體作一系列的 研究和探討。我們發現因為高介電薄膜具有較大的閘極電容密度，因此以其作為 ... See full document

... 林哲民、徐博、蔡子儀、阿森等實驗室學長，在實驗中對我的幫忙與電性 的討論，讓我在實驗上可以少走許多冤枉路。再來要感謝我們這批同梯碩 二戰友們，劉大偉、江忠祐、陳玲、洪文強、林漢仲、李冠樟、陳威臣， 跟你們一起做實驗真的很快樂，讓深夜作實驗時感覺不那麼可憐,我會永 遠記住你們的。也要感謝實驗室裡的碩一學弟妹，有了你們，讓實驗注入 ... See full document

... 余明爵、羅文呈、王智盟、王冠迪、江宗育、顏榮嘉、林威良、吳翊鴻、張子恆、 張婷，有你們的陪伴、幫忙和討論，使我研究更順利，生活充滿歡樂。感謝一路 走來始終陪伴在我身旁的好朋友，顏碩廷、陳建豪、陳漢譽、鄧至剛、林宏年， 以及多年好友蔡猛麒、傅士卿、潘祥斌、劉鶴軒、李翔任、劉力仁、王東鉑，在 ... See full document

... 誌 謝 時光飛逝，轉眼間已過了兩個寒暑，在交大的碩士班求學期間，首先要感 謝我的指導老師 冉曉雯教授，謝謝老師在學業與實驗上的指導與教誨，讓我在 量測分析、論文寫作及未來規劃等方面獲益良多，同時也讓我在遇到瓶頸的時候 能夠有所突破，而老師對於事物的遠見及胸襟更是我未來努力學習的方向，在此 對老師致上內心最誠摯的敬意與謝意。 ... See full document

... 而漏電流的產生經常是過渡金屬原子在矽材料中都是屬於快速擴散源容易造成 金屬原子殘留而產生減損元件特性，發生機率最高會在 TFT 結構的絕緣層中金屬 雜質會在矽化物析出，而在半導材料中產生能隙深層能階(deep levels in the band ... See full document

... 對於有無通道底部摻雜的元件做進一步的研究。 在第二個主題部分，我們設計了不同尺寸不同身體端位置的薄膜電晶體元件，並 ... See full document

... 國立交通大學 電子工程系 電子研究所碩士班 摘 要 在本篇論文中，我們利用一種新穎的測試結構，來分析 P 型金屬誘發側向結 晶複晶矽薄膜電晶體(MILC-TFT)的通道結晶品質、以及可靠度問題。藉由量測 ... See full document

... 本論文中，先提出了一種具有金屬遮光層的薄膜電晶體。與傳統電晶體的差異為在 其緩衝層底部沉積一層不透光的金屬材料，藉此隔絕光線直接入射至主動層。雖然此種 ... See full document

... 國立交通大學 電機學院光電工程研究所 摘要 可繞式薄膜電晶體研究是現今最受矚目之一的一項技術，擁有輕薄、可撓 曲、容易隨身攜帶等特性。目前大多數可撓式元件都由多晶矽薄膜電晶體為主基 ... See full document

... 電子工程學系 電子研究所碩士班 中文摘要 在此論文中，我們首先提出一個以標準四道光罩，所製作之元件 圖案相依的金屬誘化側向結晶之複晶矽薄膜電晶體。根據實驗結果顯 ... See full document

... 感謝眾多的學長帶我進入半導體領域，李名鎮、李介文、張子云、俞正明學 長對我的照顧及協助。也感謝實驗室裡一起研究的夥伴，小強、建豪、楊紹明、 小賢、柏儀、獻德、志仰、家文，以及余俊、任逸、源俊、久盟、松霖、國誠、 伯浩、宗元、梓翔、俊嘉、統億、和錦石，有你們的陪伴與討論實驗過程不再枯 ... See full document

... 再者要特別感謝郭柏儀學長，在實驗、研究上熱心無私的指導，使我獲得許多寶貴 的實驗經驗，而學長的認真執著的研究精神，也是我永遠的學習榜樣。此外，也感謝當 初和我們同時進入實驗室的吳偉成學長，絕佳領導風範及特別的人生哲學，讓我有更開 ... See full document

... 特別感謝論文口試委員在百忙之中給予寶貴的建議與指教。另外，在台灣積 體電路製造公司工讀期間，前瞻技術研發部部經理張智勝博士及所有全體同仁在 研究與工作上的大力協助，在此由衷感謝。 在求學過程中，感謝學長唐俊榮博士、馬煥淇博士以及鄭志昌博士不吝分享 所學，讓我快速進入狀況。此外，感謝學弟東陽、志宇、書祥、明瑋、泓達以及 ... See full document

... 國 立 交 通 大 學 光電工程學系 光電研究所碩士班 碩 士 論 文 A Thesis Submitted to Department of Photonics Institute of Electro-Optical Engineering College of Electrical Engineering and Computer Science National[r] ... See full document

... 此外，特別要感謝蔡志宗學長在實驗、量測分析以及論文寫作給予我莫大的 協助與建議，使我順利獲得知識與學位。還有要感謝吳興華學長、李泓緯學長、 黃震鑠學長、盧皓彥學長、陳世青學長、吳永俊學長、周政偉學長以及謝永龍學 長，感謝學長們平日對我的照顧以及研究上的建議。也要感謝實驗室一起工作的 ... See full document

... 要感謝材料系蔡豐羽老師，提供原子層沉積系統，協助本研究中二氧化鉿薄膜的沉 積。最後，要感謝陳建彰老師、吳肇欣老師、廖英志老師撥冗擔任口試委員，給予 許多寶貴意見及鼓勵。 謝謝實驗室的夥伴們，感謝昀軒、書銘、皓麟、佳勳、文亮等學長，在研究上 給予指導以及實驗的經驗傳承。由衷感謝書銘學長，每當研究遇上問題都會給予我 ... See full document