第四章 營運階段安全衛生管理指引
4.8 裝移機安全管理
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3. 裝機安全各階段檢查重點
（1） 裝機檢查：現場會勘及機台置定位後，機台負責人和供應商完成機 台性能測試至移交生產單位持續運轉前，各相關人員執行機台性能 及操作環境安全檢查，可區分三階段執行安全檢查：
項目 目的 檢查內容
第一階段 安全檢查
確保開啟無危 害物設備安全 的檢查
1. 廠務單位：電力設施、一般氣體管路（例如：純氮氣、
一般氮氣、空氣等）、塑材管路、廢有機收集系統、超 純水、排氣管路（例如：酸、鹼、有機等）、真空管路、
防震設施…等
2. 設備單位：機台端電力/控制系統、緊急遮斷裝置、安 全防護、真空泵、排氣裝置…等狀況
第二階段 安全檢查
確保開啟具危 害物設備及持 續運轉的安全
1. 廠務單位：危害氣體、化學管路系統…
2. 安全系統：機台端消防系統、特殊氣體監控系統…
3. 設備單位：安全連鎖裝置、特殊氣體及化學運送系統、
雷射、游離及非游離設施、尾氣處理設施…
第三階段 安全檢查
確保技術人員及 維修保養人員有 一個安全無慮的 作業環境
1. 設備單位：改善所有檢查缺失，確認機台安全防護措 施列入保養文件、尾氣處理設施處理效率、機台電力 系統接點完成紅外線熱影像掃瞄檢測…。
2. 工安單位：確認現場安全檢查缺失均完成改善
（2） 具危害物之物質（Hazardous Production Materials, HPM）：NFPA 704 規範健康危害、易燃性及反應性等級為三或四級之物質。
4. 拆移機管制目的：制定拆移機標準作業程序，降低既有設備拆除及移機 風險，並藉以確保作業安全及品質，防止異常事件的發生。
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5. 責任區分
人員 責任範圍
廠務單位
1. 執行廠務工程驗收作業，如配電，氣體、化學品、排氣管路…等。
2. 施工廠商是否提供相關測試記錄，並完成拆、裝機相關檢核表確認。
3. 進行施工工程安全及品質稽核作業。
4. 收集所有相關施工驗收報告。
機台負責單 位
1. 監督廠商是否依各階段安全規範進行檢查及缺失改善。
2. 配合工安單位進行各階段安全檢查及稽核。
3. 將所有檢查及功能測試所要求的文件，傳簽並存檔於部門內備查。
4. 確實按檢查表內容安裝機台、作檢查和缺失項目的追蹤改善。
5. 配合執行機台紅外線熱影像檢測作業。
工安環保單 位
稽核承攬商管理單位、消防及氣體監控系統及機台負責單位，是否確實遵守 各階段檢查規範，並針對缺失項目進行改善。
4.8.3 實務運作流程
1. 機台裝機安全檢查程序實務運作流程
廠務系統連接的 管理
裝機安全檢查前 傳簽程序
（機台基本資料及 公用需求）
機台設備廠商
廠務系統連接的 管理
廠務系統連接的 管理
機台裝機 會勘確認廠務系統
連接廠商
廠務系統連接機台 裝機施作
施工品質及 驗收報告
公用區域運轉 第一階段安全檢查
廠務系統連接廠商
（大宗氣體、排氣、
電力）
第二階段安全檢查 特殊氣體、化學品供
應系統廠商 會工安單位安全履勘
裝機安全檢查後 傳簽程序 (現場履勘缺失矯正及
運轉管理程序確認) 時程
圖4-8 裝機程序實務運作流程
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2. 第一階段裝機安全檢查實務運作流程
機台負責單位送審 機台裝機安全檢查相關文件
繪製裝機圖面 開始系統的連接
機台負責單位於機台定位後並完 成組裝及送電前機台功能檢查
無具危害物質公共設備測試，例 如：機台電力系統、大宗氣體、
排氣系統
第二階段安全檢查開始 第一階段安全檢
查開始
送審文件 會簽通過
是
送審文件及確認事項：
1. 機台公用需求
2. 緊急遮斷裝置數量位置 3. 安全連鎖種類
4. 機台配置…
機台負責人 否
修改送審文件
完成機台配管配線，但不 供電、化學品、氣體…
測試緊急遮斷裝置及確認警 示標示及防護裝置完整性
註記段檢查缺失，
於運轉前完成改善
圖4-9 第一階段裝機安全檢查實務運作流程
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3. 第二階段裝機安全檢查實務運作流程
無具危害物質公用設備開始測試
第二階段安全檢查開始
機台安裝完成，安全保護系統，經證 實可適當運作
機台負責人 完成第二階段安全
檢查安全檢查
具有危害物質公用設備開始測試
開始第三階段安全檢查 第一階段安
全檢查完成
是否符合所有 檢查表的要求
是
機台負責人／工安單位 簽註完成此階段檢查
機台負責單位協調解決 廠務
完成第二階段安 全檢查安全檢查
工安單位 完成第二階段安 全檢查安全檢查
機台負責人會同工安單位進行第二 階段安全檢查檢查
是否 關鍵
否
註記缺失於 裝機完成前 改善完畢
完成第二階 段安全檢查
否
是
圖4-10 第二階段裝機安全檢查實務運作流程
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4. 第三階段裝機安全檢查實務運作流程
具有危害物質公用設備開始測試
開始第三階段安全檢查
機台負責人完成各項第三階段安全 檢查檢查表
第一階段及第二階段安全檢查缺失 改善完畢
機台完成裝機安全檢查 完成第二階段
安全檢查
是否符合所有 檢查表的要求
是
機台負責人彙整相關文件、送審
＜存檔備查＞
機台負責人 訂定維修保養
規範
註記 缺失
完成第三階段 安全檢查
否
機台負責人協調解決
圖 4-11 第三階段裝機安全檢查實務運作流程
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5. 機台拆移機安全檢查實務運作流程
設備單位提供移機訊息 例如：機台名稱／時間
申請相關作業許可
（例如：動火／管路作業）
知會廠務相關系統
（電／水／氣化）負責人
施工負責人召開承攬商 施工前安全會議
工安單位現場查核 施工安全準備事項
施工現場環境安全確認及 復原作業
設備及廠務工程師負責工 程監工，填具相關作業查
核表
廠務系統負責人進行拆除 公用設備勘驗及預置作業
機台負責單位知會廠務及工安單位
廠務施工協調人會同設備及工安 勘驗現場並研議拆除計劃
委外施工
圖 4-12 拆移機安全檢查實務運作流程
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4.8.4 實務補充說明
1. 裝機完成（例如：水/電/氣化…）上線使用前，必須完成各階段安全檢查 後方可啟用。
2. 廠務供應系統與機台系統的連接（一次配及二次配）介面相關必須清楚。
各系統上線前必須確認供應系統、機台設施及後續排放與處理設施，已 完成現勘與功能測試，避免機台驗機過程造成異常事件發生。
3. 裝機過程各階段檢查重點說明如下：
（1） 第一階段安全檢查
A. 廠務非HPM各系統完成功能測試，相關測試報告完成會簽。
B. 機台送電階段配合執行緊急遮斷閥功能測試。
C. 確認機台端氣體閥箱（Gas Box）排氣風量。
D. 管路及閥件標示狀況。
E. 配氣箱（Valve Manifold Panel, VMP）至機台端管路執行測漏未 開VMP出口閥。
F. 機台附屬設備（例如：局部廢氣處理設備、泵、冷卻裝置）防震 設施未完成。
（2） 第二階段安全檢查
A. 機台裝機過程暫時隔離之連鎖，於供酸送氣前應確實復歸。
B. 管路材質適當性確認（氣體/化學品/排氣管路）。
C. 特殊氣體供應前氣體監控系統設置狀況。
D. 氣體或化學品供應現場之危害標示及物質安全資料表狀況。
E. 有機溶劑（例如：異丙醇）供應前消防系統設置狀況。
F. 機台配置偵測設施（例如：火警偵測器及氣體偵測器）測試/校正 報告。
G. 液態供應系統（例如：化學品/純水）供應前應確認排放及收集系 統狀況。
H. 機台端化學供應系統使用前應完成安全檢查及保壓測試。
（3） 第三階段安全檢查
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A. 確認各階段檢查缺失改善狀況。
B. 機台保養文件及安全注意事項是否完備。
C. 機台設置之尾氣處理設備效能檢測。
D. 機台端用電設備紅外線熱影像檢查狀況。
E. 機台與自動化傳輸設備功能測試狀況。
F. 機台裝機完成後現場6S狀況。
4. 機台拆移機注意事項
（1） 廠內所有機台移機皆須遵守拆移機管制規範。
（2） 移機前必須召開拆移機施工前會議，釐清安全相關注意事項、各系 統拆除介面點及協調影響機台停機時程。
（3） 作業過程如涉及廠內特殊作業，請依相關規定提出作業許可申請
（例如：管路拆除作業、動火作業）。
（4） 設備單位會同廠務系統負責人關閉管路並修改標示及紀錄。
（5） 填 寫 拆移機管制檢查表，依據相關規範進行作業。
（6） 移機前設備須完成除污程序，確實執行管路清洗，拆卸管路立即盲 封，依照廠內廢棄物處理流程處置。
（7） 移機作業完成後，執行現場環境復原作業。
5. 訓練
（1） 針對所有裝機負責單位及人員進行「裝機程序及安全注意事項」教 育訓練，相關人員完成訓練方可配合執行機台裝機作業。
（2） 裝機作業人員及廠商，必須熟悉裝設系統上下游關係。廠務系統的 連接負責人必須協調及整合各系統介面，必要時召集相關人員進行 協議及訓練。
6. 文件
機台裝機相關文件，包括各階段安全檢查記錄或報告、人員訓練記錄、
機台驗機報告及系統測試…等文件均需保存；相關保存期限依各廠區文件 管理要求辦理。
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