3.1 目的
本文的目的在探討高科技產業試運階段安全管理，所謂「試運轉階段」係 指從廠務各系統完工至第一片產品（晶圓）產出期間。這階段的工作包括擬定 及執行各系統驗收計畫、試運轉計畫、人員訓練計畫和安全檢查計畫，亦即廠 務設施正式供應前需完成各系統功能測試及安全檢查，確認各系統與人員是否 妥善完成正式運轉前各項準備工作。
3.2 管理項目
試運轉階段安全管理項目分類大致如下所示。
管理項目 管理內容
建築物使用執照 建築物使用執照申請
消防安全檢查 1. 建築物消防安全設備審查及竣工查驗
2. 公共危險物品及可燃性高壓氣體之製造、儲存 或處理場所消防安全檢查
3. 防火管理人遴選暨消防防護計畫核備 4. 保安監督人遴選暨消防防災計畫核備 機台入關作業申請 1. 輻射防護計畫
2. 可發生游離輻射設備許可或登記備查
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管理項目 管理內容
廠務設施試運轉前 安全檢查
1. 第一階段安全檢查 A. 送電前檢查
B. 非有害化學品系統供應管線安全測試 C. 完成設施防震固定
D. 人命安全系統上線
E. 危害標示及管線標示張貼 2. 第二階段安全檢查
A. 有害化學品供應管線安全測試 B. 通風排氣系統上線
C. 消防系統上線 D. 毒氣偵測系統上線
E. 安全連鎖裝置及緊急停止裝置功能測試 F. 物質安全資料表
3. 第三階段安全檢查
A. 第一、第二階段檢查缺失改善 B. 電力系統紅外線熱影像檢測 C. 局部廢氣處理設備處理效率量測 D. 完成系統操作標準書及人員訓練 化學品管路清洗作
業安全
1. 訂定化學品管路清洗作業程序 2. 化學品管路清洗作業前安全檢查
3. 訂定化學品管路清洗作業安全巡檢計畫 4. 化學品管路清洗作業中危害警告標示 5. 化學品管路清洗廢液處理
6. 個人防護具準備
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管理項目 管理內容
氣體/化學品供應安 全管理
1. 毒物化學物質運作許可證 2. 毒物化學物質登記備查 3. 己供應化學品系統標示 4. 氣體化學品管線標示 5. 物質安全資料表準備 教育訓練 1. 人員危害告知
2. 法定證照訓練
生命安全系統
1. 消防系統 2. 毒氣監控系統
3. 緊急逃生動線指示及照明 4. 通風排氣系統
5. 緊急沖身洗眼器 6. 急救器材準備
安全巡檢/稽核 1. 新化學品上線安全巡檢
試運轉緊急應變計 畫
1. 成立化學品管路清洗作業緊急應變小組 2. 建立化學品管路清洗作業緊急應變程序 3. 緊急應變器材準備
4. 緊急應變演練 5. 疏散演練
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3.3 實務運作流程
1. 廠務設施試運轉前安全檢查流程
圖3-1 廠務設施試運轉前第一階段安全檢查流程 續第二階段
第一階段 安全檢查
送出安全檢查前傳簽
進行設施安裝工程
第一階段安全檢查
確認完成第一 階段安全檢查
廠務設施安裝負責人
廠務設施安裝負責人
廠務設施安裝負責人
執行人員 工作項目
啟動電力或非有害化學品 供應/使用系統
1. 電力設施啟動前檢查
2. 非有害化學品供應/使用系統 啟動前啟動前檢查
3. 生命安全系統安裝完成 4. 完成設施防震固定 1. 進行廠務設施安裝
2. 危害標示及管線標示張貼 1. 填寫安全檢查前傳簽單 2. 傳簽單會簽相關單位
1. 電力設施啟動啟動
2. 非有害化學品供應/使用系統 啟動
廠務設施安裝負責人 廠商工程人員
1.廠務設施安裝負責人 2.廠務其他系統供應單位
負責人(如電力課、水 課、機械課等) 3.廠商工程人員 是
否
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圖3-2 廠務設施試運轉前第二階段安全檢查流程 啟動
有害化學品供應/使用系統
1. 廠務設施安裝負責人 2. 廠務其他系統供應單
位(如氣化課)負責人 3. 廠商工程人員
有害化學品供應/使用系統啟動 第二階段
安全檢查
有害化學品供應/使用系統 安全測試
1. 管路飽壓/漏率測試 2. 安全連鎖裝置功能測試 3. 毒氣偵測系統功能測試 4. 局部廢氣處理設備功能測試 廠務設施安裝負責人
1.廠務設施安裝負責人 2.工安單位安全檢查人員 3.廠商工程人員
執行人員 工作項目
否 確認完成第二 階段安全檢查
是
第二階段安全檢查 1. 有害化學品系統/管線安全測試報
告
2. 安全連鎖裝置功能測試報告及現 場抽測
3. 毒氣偵測系統功能測試報告 4. 局部廢氣處理設備功能測試報告 5. 危害標示及管線標示張貼檢查
續第三階段
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圖3-3 廠務設施試運轉前第三階段安全檢查流程 第三階段
安全檢查
送出檢查後傳簽單
確認完成第三 階段安全檢查
完成廠務設施安全檢查
廠務設施安裝負責人
第三階段安全檢查
1. 第一、第二階段檢查缺失 改善
2. 電力系統紅外線熱影像檢 測
3. 局部廢氣處理設備處理效 率量測
4. 完成系統操作標準書及人 員訓練
廠務設施安裝負責人 工安單位安全檢查人員
1.填寫安全檢查前傳簽單 2.傳簽單會簽相關單位
執行人員 工作項目
否
是
廠務設施安裝負責人 張貼通過安全檢查合格標籤
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2. 可發生游離輻射設備進出口簽審及證照申辦流程
圖 3-4 可發生游離輻射設備進出口簽審及證照申辦流程 通
登記類 關 可發生游離輻
射設備 許可類 可發生游離輻 射設備及配件
登記類 放射性物質
許可類 放射性物質
許可類 核子原料
許可類 核子燃料
許可類 重 水
事 先 書 面 申 請
原 能 會 審 核
進出口簽核
進出口簽核
進出口簽核
登記備查 原能會審核 結 案
通 關
證照申辦
（書面） 原能會審核 結 案 上網 轉報單 上網
上網 轉報單
上網
寄交文件
（書面） 原能會審核 通 關
結 案 轉報單
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3. 試運轉階段廠務設施化學洩漏緊急應變流程
圖3-5 廠務設施化學洩漏緊急應變流程 應變小組組織職掌
1.指揮官：負責整個緊急應變小組之召集及應變決策。
2.系統控制組：負責機台設備之操作。
3.救護組：負責傷患之搶救、急救及送醫治療。
4.搶救組：負責洩漏化學品之處理及災害之搶救。
5.管制組：負責災害現場之警戒、現場秩序之維持及管制人員進出。
6.疏散組：負責疏散人員之點名並回報指揮官。
通報緊急應變中心
成立指揮中心
災害處理
狀況解除/
復歸
狀況報告 人/事/時/地/物
任務編組
•
指揮官•
系統控制組•
救護組•
搶救組•
管制組•疏散組
事故檢討
撰寫事故報告 視狀況決定是否須
切斷機台電源
廢棄物處理 請求人力支援
回報指揮官 災害發生
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3.4 實務補充說明
1. 建築物使用執照暨消防安全檢查
（1） 依照建築法第70條規定，建築工程完竣後，應向主管機關申請使用 執照。
（2） 建築法第72條，供公眾使用之建築物，依第70條之規定申請使用執 照時，直轄市、縣（市）（局）主管建築機關應會同消防主管機關 檢查其消防設備，合格後方得發給使用執照。
（3） 公共危險物品及可燃性高壓氣體之製造、儲存或處理場所，應經消 防機關檢查合格後，始得發給建築物使用執照。
（4） 防火管理人遴選及消防護計畫核備：消防法第13條，一定規模以上 供公眾使用建築物，應由管理權人，遴用防火管理人，責其製定消 防防護計畫，報請消防機關核備，並依該計畫執行有關防火管理上 必要之業務。
（5） 保安監督人遴選暨消防防災計畫核備：公共危險物品及可燃性高壓 氣體設置標準暨安全管理辦法第47條製造、儲存或處理六類物品達 管制量30倍以上之場所，應由管理權人選任管理或監督層次以上之 幹部為保安監督人，擬訂消防防災計畫，報請當地消防機關核定，
並依該計畫執行六類物品保安監督相關業務。
2. 機台入關作業申請
（1） 可發生游離輻射設備：指核子反應器設施以外，用電磁場、原子核 反應等方法，產生游離輻射之設備。
（2） 輻射防護計畫：游離輻射防護法第7條設施經營者應依其輻射作業 之規模及性質，依主管機關之規定，設輻射防護管理組織或置輻射 防護人員，實施輻射防護作業。前項輻射防護作業，設施經營者應 先擬訂輻射防護計畫，報請主管機關核准後實施。未經核准前，不 得進行輻射作業。
（3） 游離輻射防護法第29條，放射性物質、可發生游離輻射設備或輻射 作業，應依行政院原子能委員會之指定申請許可或登記備查。
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（4） 可發生游離輻射設備之靜電消除器、離子佈植機之進口辦理，須至 原子能委員會進出口簽審系統登錄並線上提出申請，才能於海關辦 理貨物通關手續。
3. 廠務設施試運轉前安全檢查
（1） 廠務設施試運轉前安全檢查分成三個階段
A. 第一階段安全檢查：非有害化學物質設施啟動前安全的檢查。
B. 第二階段安全檢查：確保使用/供應有害化學物質廠務設施持續運 轉安全。
C. 第三階段安全檢查：確保提供操作及維修保養人員，一個安全無 慮的作業環境。
（2） 第一階段安全檢查包括以下項目
A. 電力供應系統連接及功能測試報告。
B. 非有害性氣體、化學品管線飽壓、測漏報告（如純水、氮氣）。
C. 通風排氣、廢氣處理系統及其管線測試報告。
D. 完成物質安全資料表及管線標示。
E. 廠務設施防震固定安裝報告。
F. 廢液排放系統銜接報告。
（3） 第二階段安全檢查項目包括以下項目 A. 消防系統暨火警偵測系統測試報告。
B. 毒氣偵測系統測試報告。
C. 安全連鎖裝置功能測試報告。
D. 有害性氣體、化學品管線飽壓、測漏報告。
（4） 第三階段安全檢查項目包括以下項目 A. 電力系統紅外線熱影像檢測報告。
B. 局部廢氣處理設備處理效率測試報告。
C. 第一階段、第二階段缺失改善完成。
D. 現場整理整頓檢查。