中 華 大 學 碩 士 論 文
題目：由市場接受度觀點探討超音波洗滌設備 之推廣研究
The Study of Promotion for Ultrasonic Cleaning Equipment through Market Acceptance
系 所 別：科 技 管 理 研 究 所 學號姓名：M09203015 許 文 達 指導教授：蔣 德 煊 博 士
中華民國九十四年六月
由市場接受度觀點探討超音波洗滌設備之推廣研究
學生：許文達 指導教授：蔣德煊博士
摘 要
隨著環保意識之覺醒，企業紛紛開發綠色之新型技術、產品或設備，政 府機關亦陸續制定相關環保法規，防治及保護環境避免遭受破壞或污染。目 前國內高科技廠房無塵室中所使用之濾網，由於對作業環境須具備高清淨度 之需求，與一般坊間冷氣設備中所使用之材質炯異，加上高科技廠商所使用 之濾網成本佔總體之銷貨成本極為有限，廠商為了確保無塵室之作動無礙，
使用過之濾網幾乎丟棄換新，事業廢棄物之量體日益暴增，廢棄之濾網非但 無法於掩埋場中分解，亦會造成焚化爐內火格子阻塞之種種問題，無形中提 高了整體之社會成本。為了減輕及消弭上述之公害問題，日本國內高科技產 業已廣泛使用超音波洗滌設備，進行無塵室濾網之回收再生，非但可節省企 業之開支，亦可有效解決廢棄濾網所帶來一連串之社會及環保問題。
本研究之目的係藉由產學合作之機會，深度介紹超音波洗滌設備之創新 技術，探討國內對利用此設備之認同程度，同時調查市場之接受度。首先透 過 Kotler 企業購買者行為模式搭配腦力激盪會議之進行，初擬所有影響市場 接受度之構面及評估準則，再藉由德爾菲（Delphi）法萃取評估準則，最後 以擁有無塵室設備(class≤ 10000)之國內高科技廠商為研究對象，透過層級分 析法（Analytic Hierarchy Process；AHP）計算各構面及準則間之相對權重，
探討超音波洗滌設備之未來推廣與發展方針。
研究結果顯示政府法令政策及政府宣導兩評估準則，為影響國內高科技 廠商選購此技術設備最重要之關鍵準則，因此建議相關業者若欲於國內推廣 該項超音波洗滌設備，必需結合政府宣導及法令規章之執行，同時業者亦需 加強技術本身之穩定度並確保優良品質，使高科技廠商認同洗滌後之清淨水 準。最後，本研究亦預測未來超音波洗滌技術之需求與趨勢，勢將存在龐大 之市場需求與商機之發展潛力。
關鍵詞：超音波洗滌設備、德爾菲法、層級分析法、市場接受度
The Study of Promotion for Ultrasonic Cleaning Equipment through Market Acceptance
Student : Wen-Ta Hsu Advisor : Dr. Te-Hsuan Chiang
Abstract
With the awakening of environmental protection awareness, businesses are currently developing new, environmentally friendly technologies, products, and equipment, while government organizations are establishing relevant regulations to protect the environment against destruction and pollution. The materials of filter nets currently used in the cleaning rooms by hi-tech industries to meet the strict cleanliness requirements are drastically different from those used in household air conditioning equipments. Since the cost of filter nets compose of a very small portion of hi-tech businesses’ total operating expenses, businesses tend to discard used filter nets, which increase waste, to ensure the smooth running of cleaning room operation. The discarded filter nets are not decomposed in the landfill and will lead to the blockage of fire grids in the incinerators, thus raising more social cost. To alleviate and resolve such problems, local hi-tech businesses in Japan have been widely utilizing ultrasonic cleaning equipment to recycle the filter nets in cleaning rooms. This equipment not only saves businesses expenses but also resolves the environmental problems created by the discarding filter nets.
The purpose of this study is to introduce the innovated technology of ultrasonic cleaning equipment in details through the cooperation between the academic circles and businesses. The study focuses on the identification of local businesses with the equipment and a survey to investigate the equipment’s acceptance in the market. We target local hi-tech businesses with cleaning rooms (class≤ 10000) and extract the constructs influencing the market acceptance by Delphi Method and through Analytic Hierarchy Process (AHP), we calculate the relative weighting of each construct and principles to explore the future development of ultrasonic cleaning equipment.
From our research, we found that two elements—government policies and
publicity are key factors influencing local hi-tech businesses’ selection of the ultrasonic cleaning equipment. Therefore, manufacturers are recommended, when promoting the ultrasonic cleaning equipment, to incorporate government policies and regulations with equipment characteristics of stability and quality enhancement to assist consumers’ identification with the cleaning level after equipment usage. In the meantime, the study also predicts the future requirements and trend of the ultrasonic cleaning equipment, and we believe great market demand will lead to business opportunities.
Keywords: Ultrasonic Cleaning Equipment, Delphi Method, Analytic Hierarchy Process (AHP), Market Acceptance
誌 謝
承蒙指導教授蔣德煊博士對於課業以及生活上之悉心教導，使學生能夠 順利完成研究所課程及本論文，教授謙沖包容的待人處事之道與嚴謹紮實的 治學態度，加上豐富的業界經驗，皆令學生受益良多，敬佩萬分之餘亦成為 學生效仿學習之典範，在此向恩師致上由衷之敬意與感謝。
論文口試期間，承蒙李奇勳博士與葉鳴朗博士等口試委員不吝之指導，
提供學生諸多寶貴意見，使本論文內容得以更臻完備，在此亦向諸位教授致 上最誠摯之謝意。
研究期間，感謝學長姐、同窗好友們以及摰愛的淑媚悉心之關懷與指導，
加上家人的支持與協助，使學生得以順利完成碩士學位，感激之情莫能言表。
最後僅以本論文獻給曾經提攜及關懷我的家人、師長以及好友們。
許文達 謹誌於中華科管所 中華民國94 年 5 月 22 日
目 錄
摘 要... i
Abstract ... ii
誌 謝... iv
目 錄... v
圖目錄... vii
表目錄... viii
第一章 緒論... 1
1.1 研究背景... 1
1.2 研究動機... 1
1.3 研究目的... 2
1.4 研究流程... 2
1.5 研究範圍與限制... 4
第二章 文獻探討... 6
2.1 超音波洗滌技術... 6
2.1.1 超音波洗滌之原理... 6
2.1.2 超音波洗滌設備... 7
2.1.3 潔淨度等級之區別... 15
2.2 多準則評估法... 18
2.2.1 多評準決策... 18
2.2.2 多準則評估法之比較... 20
2.3 企業購買者行為... 25
第三章 研究設計... 28
3.1 研究步驟... 28
3.2 研究對象... 29
3.3 研究方法... 30
3.3.1 腦力激盪法－評估準則之遴選... 30
3.3.2 德爾菲法－層級架構之構建... 32
3.3.3 層級分析法－評估準則權重之衡量... 42
3.4 問卷設計... 57
3.4.1 德爾菲法問卷... 57
3.4.2 層級分析法問卷... 58
第四章 研究結果... 59
4.1 評估準則之研擬... 59
4.1.1 評估準則之遴選... 59
4.1.2 評估準則之架構建立... 63
4.2 評估準則權重之衡量－Expert Choice 分析... 70
4.3 評估準則權重之衡量－列向量幾何平均值之標準化法... 79
第五章 結論與建議... 88
5.1 研究結論... 88
5.2 研究建議... 89
參考文獻... 91
附錄... 96
圖目錄
圖1.1 研究流程圖... 4
圖2.1 國內濾網採購及處理循環圖... 8
圖2.2 超音波洗滌設備再生濾網之循環圖... 9
圖2.3 超音波自動洗淨原理... 10
圖2.4 超音波洗滌設備整體設施示意圖...11
圖2.5 濾網洗淨程序... 12
圖2.6 超音波洗滌槽... 13
圖2.7 未洗淨濾網、清潔劑洗淨與超音波洗淨三者之比較... 14
圖2.8 圓筒型濾網洗淨前後之比較... 15
圖2.9 多準則評估法之四大分類... 19
圖2.10 TOPSIS 基本概念圖... 22
圖2.11 企業購買者行為模式... 26
圖2.12 以 Kotler 模式初擬之層級架構 ... 27
圖3.1 研究設計... 29
圖3.2 德爾菲操作步驟流程... 36
圖3.3 德爾菲問卷調查程序... 41
圖3.4 AHP 流程圖... 45
圖4.1 專家初擬之層級架構... 63
圖4.2 超音波洗滌設備接受度之層級架構... 70
圖4.3 影響廠商接受度之準則權重及重要性順序... 76
圖4.4 評估準則排序之橫條圖... 78
表目錄
表2.1 美國聯邦標準 209E 定義之潔淨度等級 ... 17
表2.2 各產業別之無塵室等級需求... 17
表2.3 多準則評估法之比較... 23
表3.1 AHP 評估尺度之意義與內涵... 48
表3.2 隨機指標表... 54
表4.1 各構面考量之評估準則... 60
表4.2 第一次德爾菲問卷結果... 65
表4.3 第二次德爾菲問卷結果... 67
表4.4 兩次德爾菲法問卷結果之比較... 69
表4.5 行銷因素構面各準則權重及排序... 72
表4.6 環境因素構面各準則權重及排序... 73
表4.7 供應商因素構面各準則權重及排序... 74
表4.8 決策者心理因素構面各準則權重及排序... 75
表4.9 四大構面之權重及排序... 75
表4.10 軟體與列幾何平均法之差異－行銷因素構面各準則權重及排序... 80
表4.11 軟體與列幾何平均法之差異－環境因素構面各準則權重及排序... 81
表4.12 軟體與列幾何平均法之差異－供應商因素構面各準則權重及排序. 83 表4.13 軟體與列幾何平均法之差異－決策者心理因素構面各準則權重及排 序... 85
表4.14 軟體與列幾何平均法之差異－四大構面之權重及排序... 86
表4.15 軟體與列幾何平均法之差異－整體評估準則之權重及排序... 87
第一章 緒論
本研究係探討超音波洗滌設備於國內高科技廠商之市場接受度及推廣與 發展，本章首先針對研究之議題提出研究背景與動機，其次闡述本研究之目 的，最後提出研究流程，茲將上述內容依序說明於下：
1.1 研究背景
高科技產業中，使用無塵室濾網之成本佔企業總體之銷貨成本雖微乎其 微，然品質之良窳卻是決定製程成功與否及影響良率高低程度之重要關鍵因 子。例如半導體晶圓廠之製程中，須嚴格要求無塵室濾網具備濾除污染粒子 之能力，使無塵室環境達到規定之微米數，以利高品質之製程與控管。
現今國內無塵室濾網皆採用過即棄並另購新品更換之方式，替換全新之 濾網雖可保障產品於製程中之品質水準，唯日益增多之廢棄濾網無法於掩埋 場中分解，於焚化爐處理時又會造成爐內火格子（燃燒室鍋爐內焚燒廢棄物 之爐床，其特色為格子型態，焚化後之灰渣由此火格子掉落至下方之排灰設 施）之阻塞，並產生戴歐辛與二氧化碳等有毒氣體汙染環境，無形中亦提高 了整體之社會成本。
隨著綠色紀元之到來，社會大眾及環保團體紛紛呼籲並斥責破壞環境之 行為，政府機關亦陸續宣導並勤於立法與修法，同時加強整體環境之保護。
企業於追求獲利之同時，為避免社會輿論之批評與法令之制裁，亦應於生產 之過程中避免發生污染環境之製程，如此才能達到永續之企業經營與社會責 任。
1.2 研究動機
由於環保意識日趨高漲，綠色消費已成為主流，減少環境之破壞，創造 綠色企業之形象，係企業追求永續發展之目標。現今企業多數仍以獲利為目 的而忽略製程時之環境保護問題，然而，隨著環境破壞之問題陸續發生，國 人及政府機關勢必嚴加懲處污染環境之業者，因此，可預知重視綠色環保之 創新技術與設備開發勢必成為未來企業導入製程之主流。
日前，日本某企業利用超音波之作用，成功開發出乙套無塵室濾網之洗 滌設備並同步運用於高科技廠房無塵室濾網之再生作業。廢棄之濾網經由超 音波洗滌設備清淨後，不僅能符合無塵室之規定標準，亦能使濾網重覆使用，
減低企業之採購消耗品支出，減少廢棄物量體外，亦大幅減輕社會之成本支 出，可謂兼具環保與經濟效益之創新綠色設備。
本研究主要係探討國內高科技產業對超音波洗滌設備之接受程度外，同 時藉由層級分析法衡量各準則間之相對影響權重，探討超音波洗滌設備於我 國之未來市場接受度與發展方針。
1.3 研究目的
本研究之目的係探討超音波洗滌設備於國內之接受程度，以國內擁有無 塵室（class≤ 10000）之高科技廠商為研究對象。首先透過購買行為之相關文 獻探討與搭配腦力激盪（Brainstorming）之會議進行，彙整所有影響市場接 受度之構面及評估準則，其次，藉由德爾菲法（Delphi Method）萃取關鍵影 響準則，並以層級分析法（Analytic Hierarchy Process；AHP）評估各準則間 之相對重要程度，探討超音波洗滌設備之未來推廣與發展方針。
歸納本研究之研究目的如下：
一、依據企業購買行為相關文獻探討及搭配腦力激盪會議初擬準則，並透過 德爾菲法萃取影響市場接受度之評估準則，建立本研究之層級架構。
二、透過層級分析法衡量各構面及準則間之相對權重值。
三、研究結果提供未來推廣或引進超音波洗滌設備進行本土化或技術移轉時 之決策參考。
1.4 研究流程
本研究主要係探討超音波洗滌設備於國內之市場接受度，首先，藉由探 討研究背景與動機確立本研究之目的。其次，藉由企業購買行為之相關文獻 探討，初擬所有衡量市場接受度之評估指標。由於該設備屬一創新型綠色技 術，為彌補文獻之不足，因此再度透過學者專家之腦力激盪會議，建構乙套
影響市場接受度之層級架構，初擬最適之評估指標。
為了廣徵不同層面學者專家之意見，運用德爾菲法進行增減評估準則並 達成共識性，確立影響市場接受度之整體層級架構。再應用層級分析法進行 分析，經由專家對於評估準則成對比較之結果，求得指標間之相對權重。最 後彙整研究結果，將結論與建議事項提供未來推廣或引進超音波洗滌設備進 行本土化或技術移轉時之決策參考。本研究之研究流程如圖1.1 所示。
圖1.1 研究流程圖 1.5 研究範圍與限制
本研究所探討之超音波洗滌設備於國內市場係屬乙套完全陌生之新型綠 色設備，為避免構建評估指標時造成錯誤偏差，因此於腦力激盪會議中選擇 與本技術相關之日本學者專家作為成員。爲萃取真正影響國內市場接受度之 因素，德爾菲問卷之調查對象含括國內之學術研究單位、環保相關單位及產 業界相關學者專家作為決策專家群體。研究之最終階段所進行之層級分析問
研究方法與企業購買行為 之相關文獻蒐集與探討 超音波洗滌設備
相關文獻蒐集與探討
初擬構面及評估準則
篩選評估準則
建構評估準則之層級架構 確立研究動機與目的
衡量各指標及構面之相對權重
結論與建議
卷調查，則以國內擁有無塵室設備之上市、櫃公司作為研究對象，且廠商之 無塵室潔淨度需符合class≤ 10000 等級之水準，冀望以此標準使本研究更趨 嚴謹。唯研究過程中仍有下列諸多之限制，分列如下。
一、對於腦力激盪會議進行整體層級架構之建立，已盡量羅括所有可能影響 之評估準則及其構面。
二、目前常用之評估方法眾多，然而依據本研究所欲達成之目的，僅選擇適 當之德爾菲法及層級分析法作為研究方法。
三、受限於時間、地點及人力之限制，本研究未能全面進行調查市場上所有 濾網消費者之接受程度。
第二章 文獻探討
本章共分三節敘述，首先介紹超音波洗滌技術之原理與該設備之內部機 件，藉由此設備之深入剖析，冀望提供國人對此一新型設備能有初步之認識，
進一步宣導國內高科技廠商於生產過程中導入環保之綠色概念。其次說明研 究方法及相關文獻，俾便後續建立研究架構及瞭解分析之步驟。最後探討評 估準則之相關文獻，初擬本研究之層級架構。
2.1 超音波洗滌技術
本研究主要係說明超音波洗滌設備運用於濾網再生之優勢，進而鼓勵國 內企業能夠採用綠色創新之產品與製程，以符合環保意識日益高漲之未來趨 勢。因此，本節將針對此設備進行深入探討，首先介紹超音波洗滌之相關原 理，最後針對超音波洗滌設備及潔淨度等級作一概括性之說明。
2.1.1 超音波洗滌之原理
一般對於物體表面污染物之清洗方法，主要分為化學和物理兩種清洗方 式，化學洗淨過程係將清潔劑直接接觸物體表面，透過清潔劑溶解污染物質，
將污染物帶離物體表面，或是透過清潔劑與污染物質不同之結合力，將污垢 分離。物理洗淨過程則是藉由洗淨設備振動所產生之能量，將污垢脫離物體 表面。超音波洗滌則是利用每秒四萬六千次之高速振動傳導，在液體中產生 氣泡，衝擊物體表面以去除污垢的一種物理洗淨方式。
超音波係指超越人類聽覺之聲音頻率，一般人之聽覺可接收頻率範圍約 在16Hz 至 18kHz 之間，而介於 20kHz 至 10mHz 間之音波頻率則稱為超音波
（Ultrasonic wave）【27】。超音波洗滌之原理係透過液體介質導入超音波進 行高速震盪，利用輸出之疏密波產生正壓與負壓，使液體分子間之壓力交替 變化，藉由負壓將液體拉裂產生空孔，此時液體內之蒸汽或溶於液體中之氣 體會進入空孔形成汽泡，然而，氣體稀薄時則會形成真空氣泡，此即稱為空 穴效應（cavitation）【45】。氣泡中央為氣相（Gas-Phase），當氣泡隨著壓力 之提昇，氣泡亦持續擴張，當真空氣泡於震盪過程受壓破裂時，會產生加速 度形成強大之衝擊力，局部壓力可達100 至 1000 大氣壓，超音波之洗淨效果 便是透過氣泡破裂所造成之微射流（microjet）衝擊物件表面而達成的。當超
音波與物體界面相互作用時，會促使介質與分子於物件表面產生循環性運 動，稱為微氣流效果（microstreaming）【48】，此現象在未發生空穴效應時便 存在，當氣泡在物體表面破裂產生微射流時，其流速超過100m/s，此時便更 有助於促進對流運動，達到增進洗淨速率之結果。分析超音波洗淨之方式，
主要分為兩種，其一是透過真空氣泡之破裂衝擊力來洗淨污染物體，使污垢 脫離物體表面。其二是透過超音波震動使小氣泡在物件表面引起微氣流效 果，使之進入污垢與物體表面間之空隙，利用小氣泡因壓力轉換而不斷膨脹 與收縮之作用，將污垢推離物體表面【10】。清洗過程有時亦會添加清潔劑先 將污垢溶解，再配合空穴效應加強清淨之效果。
由於超音波洗滌速度、清淨效果極佳，同時兼具殺菌功能，相較於其它 之物理或化學清洗方法，超音波洗滌過程中不傷及濾網，具有優越之洗滌特 性，適用於高精密或易碎之元件。與其它洗淨方式比較，利用超音波技術洗 淨物件具有以下優點【18】：
一、藉由全面性清洗達到顯著之高潔淨度效果，提高產品之洗淨品質且全部 工件洗滌後之潔淨度均一致。
二、清洗效率較傳統之清洗方式快速，且減少溶劑之使用量，並節省能源及 工作空間，能藉此提高整體生產效率。
三、超音波清洗方式不會造成物件表面之損傷。
四、整體作業係機械化處理，除了可簡化工作程序，同時亦可減少人工成本，
提高工作安全性，避免受到人為因素如體力或情緒等影響清潔品質。
五、清洗技術能達其他清洗方法所不及之處，用於清洗整組不便拆開之配件，
既方便又省時，對於形狀複雜或有隙縫孔穴等不易清洗之物件，成效尤 為顯著。
2.1.2 超音波洗滌設備
日本高科技產業平均每年約製造一百五十萬個濾網廢棄物，經焚化爐燃 燒後所產生之二氧化碳，要透過約一千五百個巨蛋球場之面積（一個球場面 積約15000 平方公尺）之森林來消化二氧化碳，且每年製作新濾網需耗費七
十五萬噸之原油。可見濾網由生成至廢棄過程均極具浪費社會成本並消耗地 球資源，且存在嚴重造成環境破壞之殺傷力。超音波洗滌設備係一項符合經 濟與生態之洗淨器，透過濾網之回收再生，可減少企業約三分之ㄧ（40％）
的經費支出【12】，同時廢棄物可大幅減少更是對環境保護之一大貢獻。現今 台灣高科技廠商對於無塵室中之廢棄濾網，均採用後即棄並購入新品更換之 方式，如圖2.1 之循環圖所示，圖內高科技廠商除了一方面購買全新之濾網，
確保製程不被微塵污染而遭受損失，另一方面由於國內尚無乙套可供再生濾 網之設備，因此，廠商將廢棄濾網紛紛送至焚化廠處置並另購新品，如此不 斷增加廢棄物且燃燒後所產生巨量之戴歐辛及CO2等有毒氣體將會造成環境 迫害，進一步提昇整體之社會成本。
圖2.1 國內濾網採購及處理循環圖
資料來源：【12】
京都議定書係一九九七年由世界各國所共同簽署制定，主要係削減溫室 氣體之排放量以遏止全球氣候暖化之國際公約，內容要求減少二氧化碳
（CO2）、甲烷（CH4）、氧化亞氮（N2O）、氫碳氟化合物（HFCS）、全 氟碳化物（PFCS）及六氟化硫（SF6）等六種溫室氣體之排放量【15】。隨 著日前京都議定書之通過，全球對於環境保護之課題亦日益重視。為了改善 廢棄濾網劇增所造成之污染問題，日本研發出乙套超音波洗滌設備，將使用
濾網機能 降低
濾網
濾網 廢 棄
產業廢棄物
購入新濾網 高成本且
消耗資源
過之濾網進行洗淨再生作業，使其重複利用以減少廢棄物之量體，避免造成 環境污染。圖 2.2 係透過超音波洗滌設備將濾網再生利用之循環圖，經由超 音波洗淨後之濾網，由於不會破壞濾網中之主體材質，因此，依濾網材質種 類及使用條件之不同而定，平均約可再次回收使用三次左右，如此不僅可削 減設施維護管理成本且對廢棄物之消減及資源保護上具有重大之貢獻。
目前日本國內企業大都採用此設備回收濾網並重複使用。為因應未來愈 趨重視綠色製程之趨勢，國內企業確實有必要採用類似此項設備進行再生濾 網之洗滌作業，以減少暴增之廢棄物造成環境破壞並損及企業形象。由全球 諸多先進國家皆陸續制定相關環保法規與協議中可暸解，企業於獲利的同 時，亦應重視本身所需善盡之社會責任，其中製程與產品之綠色化，係保障 全人類生存環境免遭汙染迫害所帶來之最大貢獻，亦是企業永續經營之道，
因此，綠色之創新產品、技術與設備之開發，未來將蔚為風潮。隨著政府對 於環保法規之制定，環境保護將不僅係個人或企業之意識與責任，亦將成為 全人類必備遵循之條件。
圖2.2 超音波洗滌設備再生濾網之循環圖 資料來源：【12】
超音波洗滌設備係藉由振動子板將電能轉變為音波，以超越人類聽覺 頻率以上之波動（每秒四萬六千次）進行高速震盪，形成之疏密波可分為
機能低下之濾網
再生 無塵室濾網
機能回復
正壓（波峰）與負壓（波谷）兩部份，此時處於低壓之洗淨液會產生氣化 而形成無數微小之真空氣泡，此即稱為空穴效應。當氣泡受壓增大到最後 爆破時，會形成強大之衝擊力將附著於濾網之塵垢剝離，且超音波具有頻 率高波長短之特性，故氣泡衝擊之穿透力強，針對隱密隙縫及複合式層疊 之濾網結構中所吸附之塵垢粒子完全去除，達到潔淨之再生效果，其原理 如圖2.3 所示。
圖2.3 超音波自動洗淨原理 資料來源：【12】
圖 2.4 係超音波洗滌設備之整體設施示意圖。其中控制盤之作用係進行 前處理槽、注入槽、洗滌劑自動供給裝置、洗淨槽、殺菌槽與搬送機械設備 之監視及控制。關於整體濾網之洗淨程序，第一步驟係將待洗淨之濾網運送
濾網 濾
網
空穴效應
距離（定型波）
振 動 子 板
超 音 波 振 動 子 板
＋壓力
－壓力 時間
初生 崩
成 壞 長
產生 衝擊 波
至前處理槽，使附著於濾網上之塵埃浮於液體表面，前處理後之濾網再送至 注入槽去除濾網所附著之洗滌劑。爾後，透過超音波洗滌設備，依據上述之 洗淨原理去除濾網上之塵埃，且超音波洗滌設備中附有洗滌劑自動供給裝 置，能於機器運轉前自動供給專用之洗滌劑。洗滌完畢再一次透過注入槽將 附著於濾網之洗滌劑去除。最後送至殺菌槽利用臭氧殺菌分解作用將洗淨濾 網進行殺菌之動作，上述過程即為濾網洗淨之整體作業程序。圖 2.5 係濾網 自動洗淨之程序。
圖2.4 超音波洗滌設備整體設施示意圖 資料來源：【12】
前處理槽 殺菌槽
洗淨槽
洗滌後之 注入槽 洗滌劑自動
供給裝置
前處理後之注入槽
控制盤
整列台
圖2.5 濾網洗淨程序
於整體設施中，主要清洗濾網之核心設備為超音波洗滌槽，圖 2.6 係洗 滌槽及槽中之主要機件設備。其作動原理係將待洗滌濾網置於滑板元件上固 定，藉由超音波振動子板之高速震盪，再透過滑板左右移動將濾網中之塵垢 完全經由穿透力強之氣泡衝擊進行非破壞性之物理洗滌。
前處理槽
注入槽
洗滌槽
注入槽
殺菌槽
圖2.6 超音波洗滌槽 資料來源：【12】
圖 2.7 係某高科技廠房內所使用之換氣濾網，經比較其未洗淨、清潔劑 洗淨與超音波洗淨三者之外觀與放大圖後，可看出濾網經超音波洗滌設備洗 淨後，較清潔劑清洗有明顯之潔淨效果。實驗證實，經超音波洗滌後之無塵 室濾網可達使用廠商所規定之潔淨度要求標準【12】。
控制開關 控制開關
流量 開關
絕緣變壓器 滑板
滑 板 元 件
濾 網
滑板
滑板用 電動機
振動子板 控制器
超音波振動子板
操作器 自動操作盤 洗淨槽 操作盤
洗淨槽 超音波
發振器
電源
圖2.7 未洗淨濾網、清潔劑洗淨與超音波洗淨三者之比較 資料來源：【12】
60 倍 放大照片
高科技廠房內所使用之換氣濾網洗淨比較
未洗淨
（上：外觀，下：放大）
清潔劑洗淨
（上：外觀，下：放大）
超音波洗淨
（上：外觀，下：放大）
除對一般矩形之濾網洗淨外，如圖 2.8 對於圓筒型濾網之洗淨，此設備 亦擁有良好之洗淨效果。
圖2.8 圓筒型濾網洗淨前後之比較 資料來源：【12】
2.1.3潔淨度等級之區別
無塵室（Clear Room）又名潔淨室或清淨室，為半導體產業、光電業與 面板業等高科技廠房中不可或缺之重要設施之ㄧ。由於高科技廠商於製程過 程需隔離空氣中之有害空氣、微塵粒子與細菌等污染物質，以提昇產品品質、
良率與可靠性，因此需於無塵室內進行製程作業。然而，無塵室其室內空氣 潔淨度（Cleanliness）存有等級上之差異，廠商需依照製程產品之精密程度，
選擇適合且達到要求標準之潔淨度等級。
有關潔淨度等級之定義最早出現於1960年美國Federal Standard 209的出 版，經由不斷修正版本由209、209A至最後一版209E (Fed-Std-209E)，而全球 隨著半導體等高科技產業日益發展，各先進國家依本身慣用之單位，亦陸續 訂立國家標準，其中包括1989年日本規格JIS B 9920、1989年英國BS 5295、
洗淨前 洗淨後
1993年德國VDI 2083以及1981年法國AFN 4410、1989年澳洲AS 1386、1991 韓國KS及中國大陸QJ 2214、1995年俄國之潔淨標準Gost-R 50766與1999年國 際標準化組織ISO頒布的ISO 14644-1。直至2001年11月24日，美國政府為了 推動經濟全球化，美國環境科學委員會宣佈廢止209E改用公制國際標準ISO 14644-1之規格【25】，然而在產業運用上，除了部份歐洲公司外，美國、日 本、台灣與中國大陸仍沿用Fed-Std-209E，因此新規範之ISO 14644-1仍未能 取代209E。本研究即採用美國聯邦標準209E作為選擇無塵室廠商之依據。
表2.1即為美國聯邦標準209E所規範之潔淨度等級，其等級係以英制每立 方英呎為單位，其中數字分別代表class 1~100000。class 1表示每立方英呎室 內空氣含有直徑大於或等於0.5µm之微塵粒子不超過一顆；class 10則不超過 十顆，其它等級依此類推。為配合國際公制單位之標準化，因此增加了公制 單位，即以”M”字頭所表示之等級。
表2.1 美國聯邦標準209E定義之潔淨度等級
資料來源：【49】
不同產業隨著本身製程與製品之品質需求，對於無塵室等級之要求亦不 相同，表2.2係本研究彙整不同產業對於無塵室所需之等級需求一覽表。
表2.2 各產業別之無塵室等級需求
產業別 無塵室等級需求
矽磊晶、IC製造、TFT、DRAM Class 1~100 光電業、LCD Class 1~1000 光碟片 Class 100~10000 LED、PCB、IC封裝測試 Class 1000~10000 資料來源：本研究整理
微 塵 粒 子
0.1µm 0.2µm 0.3µm 0.5µm 5µm
潔淨度
等級 單位 單位 單位 單位 單位
公制 英制 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3 m3 ft3
M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - -
M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - -
M2 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83
M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0
M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 2.83
M3.5 100 26500 750 10600 300 3530 100 - -
M4 - - 75700 2140 30900 875 10000 283 - -
M4.5 1000 35300 1000 247 7.00
M5 -- - - 100000 2830 618 17.5
M5.5 10000 353000 10000 2470 70.0
M6 - - - 1000000 28300 6180 175
M6.5 100000 - - - 3530000 100000 24700 700
M7 1000000 283000 61800 1750
透過上述相關文獻探討，可瞭解超音波洗滌設備確實為乙套兼具經濟與 環保之創新設備，然而，目前國內卻尚未引進使用相關或類似設備，因此，
本研究將經由適當之研究方法探討國內高科技廠商對與該設備之接受程度。
以下針對各項評估方法進行文獻探討，俾便瞭解各評估方法之特性，進而選 擇適合本研究之評估方法，以助於後續分析能順利進行。
2.2多準則評估法
本研究之目的係研擬超音波洗滌設備市場接受度之評估指標，並賦予各 指標之相對權重，因此，此章節將針對評估要素權重之相關研究方法進行文 獻探討，以選擇最適本研究目的之評估方法。
2.2.1多評準決策
多評準決策（Multiple Criteria Decision Making；MCDE）係考量數個衝 突目標時，衡量最佳化方案之決策方法，符合本研究之目的，因此，選擇此 研究方法作為衡量評估準則之決策工具。然而，多評準決策基本上可區分為 多目標數學規劃（Multi-objective mathematical Programming；MOMP）、多 準則評估（Multi-criteria evaluation；MCE）、多屬性效用理論（Multi-attribute Utility Theory；MAUT）及公共選擇理論（Public Choice Theory；PCT）等四 類方法，其中又以多目標數學規劃與多準則評估兩方法之應用最為廣泛
【17】。多目標數學規劃使用時機為評估方案個數眾多時，因其無法全部列 舉出來衡量，故需以限制條件界定評估方案範圍，再透過數學規劃方式求得 非劣解（noninferior solution）來產生出可行方案，主要應用於設計（Design）
層面；而多準則評估則適用於評估方案之個數為已知且有限時，透過運算式 計算各方案相對權重值，以決定優先次序，主要應用於評估（Evaluation）或 選擇（Selection）層面。透過上述兩大決策方法之比較，可明顯得知多準則 評估法符合本研究衡量各評估準則權重並決定其優先排序之目的，因此，本 研究選擇多準則評估法作為評估工具，以下針對該研究方法進行說明。
多 準 則 評 估 又 稱 為 多 屬 性 決 策 （ Multi-attribute Decision Making ； MADM），其方法係於已知有限方案中，決定各準則權重並據以評量各方案 之優先次序。依據所處理的資料型態加以區分，其研究方法可區分為四大類，
如圖2.9所示。
圖2.9 多準則評估法之四大分類 資料來源：【16】
一、質化準則評估法（Qualitative）
為一項處理質化資訊之評估方法，其中包含預期值均等法（Expected Value）、層級分析法（A.H.P.）、次數方法（Frequency）與幾何化量度 法（Geometric Scaling）等四種分析法。
二、質量中介評估法（Medium）
為一項介於質化與量化間之準則評估法，其中包含ELECTRE法與價 值矩陣法（Value Matrix）等兩種分析法。
三、量化準則評估法（Quantitative）
適用於評估值可數量化之評估法，其中包含目標達成矩陣法（Goal Achieve）、成對比較法（Pairwise Comp.）、多屬性效用法（Multi-Attribute
質化準則 評估法
多 準 則 評 估
1.預期值均等法 2.層級分析法 3.次數方法 4.幾何化量度法
1.ELECTRE 法 2.價值矩陣法
1.目標達成矩陣法 2.成對比較法 3.多屬性效用法 4.滿足法
5.加權總和法 6.TOPSIS 法 質量中介
評估法
量化準則 評估法
質化與量 化多準則 評估法
Utility）、滿足法（Satisfieing）、加權總和法（Weight Sum）與TOPSIS 法等六種分析法。
四、質化與量化多準則評估法（MEQQD）
其特性可考慮質化準則又能兼顧量化準則，為一項較具使用彈性之 評估方法。
上述四類方法中，其較具代表性之分析方法分別為屬於第一類之層級分 析法；屬於第二類之ELECTRE法；屬於第三類之TOPSIS法以及第四類之質 化與量化多準則評估法【17】。以下將針對此四項評估法進行比較，從中選 擇一項最適評估超音波洗滌設備市場接受度之研究方法。
2.2.2多準則評估法之比較
此節將分別針對層級分析法、ELECTRE法、TOPSIS法以及質化與量化 多準則評估法等四項多準則評估法進行說明，並比較其適用時機及優缺點，
以決定最適合本研究之評估方法。
一、層級分析法
層級分析法（Analytic Hierarchy Process；AHP）係於1971年由美國 賓州匹茲堡大學教授Thomas L.Saaty所發展出之一項決策方法【53】。
適用於處理質化資訊之問題評估，可將複雜問題逐步往下分解為層級架 構，其中最高層為所欲解決之決策問題，稱為目標層，最底層為達成目 標所需考量之評估準則及可行方案。以此架構為基礎將各層級內之評估 項目進行兩兩比較，評比尺度分為1~9項標準，評估結果需檢驗是否符 合一致性，最後將符合標準之資料計算各方案之相對權重值，以此排列 優劣順序。
二、ELECTRE法
ELECTRE（Elimination et Choice Translating Reality）最初係由法國 Benayoun, Roy與Sussman等三位學者於1966年所提出。ELECTRE法屬於 質量中介評估法，依方案及評估屬性特性，決策者可採用確定之評估尺 度針對質化準則進行評比，亦可以實際量化值來評估量化準則。該評估
法主要包含滿意(concordance)、不滿意(discordance)與門檻值(threshold values)等三項指標。ELECTRE I評估模式操作步驟如下，首先，決策者 需確立各準則之權重值，並求取成對方案比較後之滿意與不滿意指標，
爾後，決定滿意與不滿意之門檻值，若A方案與B方案之滿意指標在滿意 門檻值以上且不滿意指標在不滿意門檻值以下，表示A方案優於B方案，
以此方式找出滿足此門檻值之所有成對方案後，可建構出偏好優勢關係 圖，由圖中便可比較出核心解【21】。
因最初發展之ELECTRE I評估模式只能求取最終之核心解，無法針 對核心解集合內之各方案進行優劣排序。因此，學者Roy與Bertier於1971 年將ELECTRE I模式進行改良而發展出ELECTRE II模式，此模式提出強 勢關係（strong relationship）與弱勢關係（weak relationship），使評估 結果可得到部分排序（partial order）【21】。爾後更引進模糊理論（Fuzzy Theory）而發展出ELECTRE III及ELECTRE IV等模式【17】，但仍然無 法求出完全排序（complete order），且評估結果只具有順序關係，無法 瞭解準則間之強度關係。
三、TOPSIS法
TOPSIS （ Technique for Order Preference by Similarity to Ideal Solution）係由Hwang與Yoon於1981年發展出之量化準則評估法【37】。
其基本概念係將評估準則區分為效益面屬性與成本面屬性，並以效益面 準則之最大值與成本面最小值界定出理想解（positive-ideal solution），
以效益面準則之最小值與成本面最大值界定出負理想解（negative-ideal solution）。當方案效益面屬性之評估值愈大，成本面屬性之評估值愈小 則愈接近理想解；而效益面屬性之評估值愈小，成本面屬性之評估值愈 大則愈接近負理想解【39】。決策時選擇距離理想解最近同時距負理想 解最遠之方案作為最佳解。關於TOPSIS評估法之基本概念，可用圖2.10 說明，圖中透過兩個準則來解釋，其中S表示n個計劃所構成之樣本空 間，A*表示理想解，A－為負理想解。當比較A1方案與A2方案時，因A1
方案至理想解之距離較A2方案近，同時A1方案至負理想解之距離較A2方 案遠，因此可判斷出A1方案較佳。
圖2.10 TOPSIS基本概念圖 資料來源：【21】
四、質化與量化多準則評估法
質化與量化多準則評估法（Multi-criteria Evaluation with Qualitative and Quantitative Data；MEQQD）係一項可同時處理質化準則與量化準則 之評估方法，為荷蘭學者Voogd於1983年所提出【58】。其操作步驟首 先係將評估準則區分為質化準則與量化準則兩大類，再分別以質化與量 化準則來量測方案間之優越程度（dominance level），並將優越程度標 準化使質化與量化準則可整合為整體之優越程度，以此數值求取各方案 之相對評估分數，分數最高者即為最佳方案【17】。此評估法因可同時 兼顧質化與量化準則，因此非常適用於處理複雜問題。然而，本方法評 估過程均是在準則權重為事先已知之情況下進行，而實際狀況評估準則 之 權 重 均 屬 未 知 ， 因 此 ，Voogd提出極值權重法（Extreme Weights Approach）與隨機權重法（Random Weights Approach）等兩項方法來計 算評估準則權重，然而，此兩種求取過程卻未能符合實際狀況【6】，有 待進一步發展。
經由上述四項評估方法之介紹，可瞭解各方法在其應用上均有其優缺點 及適用條件，根據研究目的選擇適合之評估方法，才能避免評估結果產生誤 差。表2.3將依據上述四項評估方法，分析比較其優缺點，以利選擇出一項最 適合本研究之評估方法。
C2
C1
準則
A1
A2
A∗
A−
S
準
則
23
表2.3 多準則評估法之比較 方法層級分析法ELECTRE TOPSIS MEQQD 屬性質化準則質量中介量化準則質化與量化 基 本 概 念
將複雜問題逐步往下分 解為層級架構，透過評估準 則兩兩比較方式，求取各方 案之相對權重值，評估過程 需檢驗一致性。
求取成對方案比較後之 滿意與不滿意指標，並決定 門檻值，符合門檻值之指標 可繪製出優劣關係圖，依據 此圖可瞭解方案之優勢關 係。
將評估準則區分為效益 面與成本面屬性，並界定理 想解與負理想解，以距離理 想解最近同時距負理想解最 遠之方案來判斷最佳解。
將評估準則區分為質化 與量化兩大類，再分別量測 方案間之優越程度，以此求 取各方案之相對評估分數， 分數最高者即為最佳方案。 適 用 時 機
1.處理質化準則之問題。 2.需建立層級架構瞭解各準 則對問題之從屬關係。 3.欲瞭解各方案之權重及優 劣順序。 4.同一層級之評估準則需相 互獨立。 5.容許成對矩陣些微程度不 具遞移性，但需符合一致 性。
1.質化或量化準則之決策問 題均可評估。 2.準則數量少，方案數量多 時。 3.欲瞭解方案之優勢關係。
1.決策問題為量化準則時。 2.欲瞭解方案之優勢關係及 優劣排序時。 3.當評估準則間具有替換性 時。 4.評估準則需具有單調遞增 或單調遞減之效用。
1.可同時評估質化與量化準 則混合之決策問題。 2.適用於較複雜之決策問 題。 3.欲瞭解方案之優勢關係及 優劣排序時。
24
2.3 多準則評估法之比較（續） 方法層級分析法ELECTRE TOPSIS MEQQD 優 點
1.操作容易、理論簡單且具 實用性。 2.將複雜問題予以層級化， 可清楚瞭解問題之不同層次 及其從屬關係。 3.由評估結果之權重值可瞭 解各方案強度關係及排序。 4.透過特徵值檢定一致性， 提升分析之可行性。
1.質化或量化準則均可進行 評估。質化準則可透過評估 尺度衡量，量化準則可透過 量化值評估。 2.偏好關係不需滿足遞移 性。
1.根據指標距離之相對位置 可瞭解各方案順序關係與強 度關係。 2.可處理各評估準則間具有 替換性之決策問題。 3.可避免因權重值相同而無 從判斷優劣之情形。
1.適用於評估同時考量質化 與量化準則之決策問題。 2.可處理較為複雜之決策問 題。 缺 點
1.評估準則眾多時，會造成 決策者進行比較時產生混 淆，降低一致性。 2.九項評估尺度過於細瑣。
1.評估結果僅可得到部分排 序，無法求出可行方案之完 全排序。 2.方案排序結果只有順序關 係無法看出強度關係。 3.滿意與不滿意指標之定 義，無法充分反應決策者之 偏好。 4.門檻值不易決定。
1.無法評估質化準則之決策 問題。 2.無法判斷距離相等之方 案。
1.使用極值權重法與隨機權 重法來求取準則權重，無法 符合實際狀況。
經由上述四項評估方法之分析比較，可瞭解MEQQD法所求取之權重 值，無法符合實際狀況，而ELECTRE法因滿意與不滿意指標之定義，無法充 分反應決策者之偏好，且門檻值決定不易，加上無法求出可行方案之完全排 序，因此，首先不考慮採用此兩項評估法。剩餘兩項方法均可求出方案之順 序關係與強度關係，然而，層級分析法操作容易、理論簡單並具實用性，可 將複雜問題予以層級化，有助於本研究瞭解所有影響市場接受度評估準則之 不同層次及其從屬關係。透過一致性檢定，更可衡量專家之評比結果是否一 致，上述特性係TOPSIS法所不及之處。因此，本研究選擇層級分析法作為評 估工具。此外，為改善層級分析法之缺點，本研究於專家填答問卷同時，清 楚說明每項準則所代表之意義，避免因評估準則眾多，而造成決策者評估時 產生混淆之情形，並可藉此提升一致性。
2.3企業購買者行為
企業採購相異於消費者購買，因涉及之購買金額大且參與人數多，加上 考量之層面眾多並深受許多外在因素影響，因此決策過程較為複雜並耗費時 間。本研究以市場接受度為題，欲瞭解影響國內企業購買行為之因子，故藉 由企業購買者行為模式之相關文獻探討，瞭解影響國內高科技廠商採用超音 波洗滌設備之關鍵因素。
自1967年組織採購程序被提出後，許多學者開始探討影響企業採購之行 為模式。隨著後續不斷修正及研究，許多學者發展出不同之模型來探討企業 購買行為，其中較具代表性之系統模型包括由Webster and Wind所提出之組織 採購行為模式（A General Model for Organization Buying Behavior），其模式 考量組織決策、人際決策、環境決策與個別參與者決策等四大因子【59】。
Sheth的組織採購行為模式（A Model of Industrial Buyer Behavior）則含括共 同或自主決策型態之決定因素、決策者心理層面、情境因素與衝突解決等四 項因素【56】。學者Johnston and Lewin整合Robinson, Fairs and Wind（1967）、
Webster and Wind（1972）及Sheth（1973）等三種模式，並添增決策法則與 角色壓力兩項變數，進而提出組織採購行為之整合性模式（ An Integrated Model of Organizational Buying Behavior）【41】。學者Kotler則提出企業購 買者行為模式，考量環境、組織、人際與個人等影響企業購買行為之主要因 素【4】。王志剛【3】指出購買模式可充分提供購買行為之解釋，並有助於 迅速掌握變數或相關環境之改變狀況，亦可提供研究作為參考架構，建立研
究先後順序。本研究為了使選擇之購買行為模式能真正考量所有影響準則，
故透過與日本超音波洗滌業者之行銷專家討論後，認為Kotler之企業購買者 行為模式較能適當表達本研究之研究主題及目的，因此，本研究採用此模式 作為建構市場接受度層級架構之理論基礎。
Kolter所提出之企業購買者行為模式主要分為三部份，如圖2.11所示，當 環境因素影響購買組織時，購買組織會依本身特徵及決策過程產生反應，並 作出購買決定。環境因素分為行銷刺激及其他刺激兩方面，影響企業購買之 行銷刺激包含產品(Product)、價格(Price)、通路(Place)與促銷(Promotion)等 4P。其他刺激則考量經濟、技術、政治、文化與競爭等影響因素。當這些刺 激進入組織時，購買組織會受到內部之企業目標、政策、結構與制度等因素 影響，此外，於購買中心內亦會因購買決策者彼此間之人際因素與個人因素 而影響購買決策【4】。
圖2.11 企業購買者行為模式 資料來源：【4】
根據 Kotler 企業購買者行為模式可瞭解影響企業購買之因素除了外部環 境外，亦受內部組織、人際與個人因素所影響。本研究所欲建構之層級架構 主要係瞭解影響國內高科技廠商採用此套設備之評估準則，然而，組織內部 之影響因素係洗滌業者所無法影響干涉之事項，且採購決策者彼此間之人際 關係較為複雜，而個人因素係由研究對象隨著本身成長背景於填答時便可主 觀反應出個人之意見，因此層級架構中不考慮組織、人際與個人因素之影響，
故此階段之初擬架構過程，只考量外部環境因素所造成之影響，並將其他刺 激以環境因素表示。透過Kotler 企業購買者行為模式所初擬之層級架構如圖 2.12 所示，架構共分為二大構面及九項評估準則，其中含括行銷因素與環境
環境
行銷刺激 其他刺激 產品 經濟 價格 技術 通路 政治 促銷 文化 競爭
購買組織
（組織的影響）
購買中心
(人際與個人影響）
購買決 策過程
購買反應 產品或服務選擇 供應商選擇 訂購數量 運送條件與時間 服務條件 付款條件
因素兩大構面。行銷因素構面囊括產品資訊、價格、通路與促銷等四項準則，
環境因素構面則包括經濟、技術、政治、文化與競爭等五項準則。
圖2.12 以 Kotler 模式初擬之層級架構 行
銷 因 素 環 境 因 素 廠
商 接 受 度
1.產品資訊 2.價格 3.通路 4.促銷
1.經濟 2.技術 3.政治 4.文化 5.競爭
第三章 研究設計
本章節係介紹本研究之整體設計過程，經上述研究背景、動機、目的以 及相關文獻探討後，本章將界定各階段所需之學者專家與研究對象，最後將 說明各研究方法配合問卷設計之實施步驟。研究設計過程之內容詳如下述。
3.1 研究步驟
本研究屬於探索性研究之範疇，其主要目的係彙整影響超音波洗滌設備 市場接受度之關鍵因素，並建立乙套層級架構，瞭解各評估準則之相對權重。
然而，此套設備尚未引進國內，國內企業對此技術仍感陌生，學術上亦完全 無針對此設備所著之相關文獻與研究，故於研擬各層面及評估準則方面，首 先透過企業購買行為之文獻探討研擬層級架構。然而，為彌補文獻探討所衡 量觀點之不足，因此再次透過專精此領域之日本相關學者專家進行腦力激盪 法會議，初擬本研究之層級架構，使其能夠更合適、嚴謹且囊括所有影響因 素。
彙整出所有影響市場接受度之評估準則後，爲求達到各相關領域之共 識，本研究採用德爾菲法進行準則之篩選，依據腦力激盪法所彙整出之指標 設計德爾菲問卷，以學術界、產業界以及環保單位三大領域之學者專家作為 調查對象，主觀判斷需刪減之因素指標，同時新增原本未考量之準則，直到 所有專家取得一致性共識後結束德爾菲之問卷調查，完整確立本研究層級架 構之各層面及評估準則。
最後，依據此層級架構設計層級分析問卷，以國內擁有無塵室設備之上 市、櫃廠商作為研究對象，藉由指標兩兩成對比較之方式，決定各層面及評 估準則之相對權重。本研究之各階段設計如圖3.1 所示。
調查對象 研究方法
圖3.1 研究設計 3.2 研究對象
本研究共分三階段進行，依各階段之目的不同而選取不同之調查對象。
第一階段係彙整所有影響國內市場接受度之構面及評估準則，為顧及國內對 此設備尚屬陌生，故選擇日本熟知此領域之相關學者專家作為訪談對象。
第二階段係進行所有評估準則之挑選，將得分低之評估準則予以剔除，
為了全方位評估真正具有價值之關鍵評估準則，因此，調查對象含括超音波 腦力激盪法
德爾菲法
層級分析法
研擬層級架構之層面 與評估準則
關鍵評估準則之篩選
確立層級架構之層面 與評估準則 界定決策問題、範圍與
決策群體
評估準則權重之衡量
確立各構面及評估準則之 權重值
日本學者 專家 學術界、
產業界、
環保單位
擁有無塵室 設備之國內 上市、櫃廠
商
文獻探討
洗滌設備相關學者專家、環保單位及產業界等三大群體之日本與台灣地區學 者專家，作為主要訪談與調查之對象，以利建構影響市場接受度之層級架構。
最後階段設計 AHP 問卷，衡量各評估準則之相對權重。由於本研究主要 目的係探討國內高科技廠商對於超音波洗滌設備之市場接受度，故研究對象 設定為國內擁有無塵室設備之上市、櫃公司為對象，且廠商之無塵室潔淨度 需符合美國聯邦標準 209E 號（Fed-Std-209E）【49】中所規定 class≤ 10000 程度之水準，針對廠商採購中心之決策者作為研究對象。
3.3 研究方法
本研究所使用之研究工具共計三種，其中包含腦力激盪法、德爾菲法以 及層級分析法，各研究方法之理論基礎與操作步驟詳述如下。
3.3.1 腦力激盪法－評估準則之遴選
目前雖有許多關於新產品接受度之研究，且對衡量接受度之指標亦有明 確定義及相關參考文獻，然而，超音波洗滌設備於國內市場尚屬一新型技術，
若只藉由蒐集相關文獻之方式建構層級架構，深恐未能真正含括所有影響市 場接受度之評估準則，故本研究欲尋求一種適合探索新研究領域與方向之研 究方法。目前較常使用之思考技巧包括腦力激盪法（Brainstorming）、要因 分析法（魚骨圖法）、卡片法（KJ法）、列舉法與表列法等，其中腦力激盪 法係企業間最廣為使用之發散型思考技法，發散型思考係指從不同觀點下激 發大量創意想法，以獲取可能解決構想之思考模式【11】。1976年Keeeney and Raiffa指出集合相關領域之學者專家，透過腦力激盪會議之召開，可集思廣義 地進行全面分析、評價並遴選合適之目標、層面、評估準則與可行方案【42】。
此外，眾多研究亦顯示腦力激盪法可於短暫時間內，透過集體思考方式，互 相激盪成員間之思考，進而產生連鎖反應產出更多之解決方案。基於上述特 性，本研究採用「腦力激盪法」作為彙整評估準則之工具。透過此技術相關 領域之日本學者專家集體訪談方式，歸納所有專家之意見看法，以構建整體 影響市場接受度之層級架構。
Brainstorming原為醫學用詞，係指精神病患者發作而突然精神錯亂之狀 態，1938年美國BBDO廣告代理商副總裁Alex F. Osborn【13】爲產生廣告提 案之創意，因而提出腦力激盪法（Brainstorming, BS），隔年Alex F. Osborn與
Batlen遂將腦力激盪定義為一群人於短暫時間內獲得大量構想之方法【9】，
爾後此名詞演變為一種會議之型式，係指透過成員集體思考方式，激發腦力 自由聯想而產生相互激盪之效果，進而提供創意或解決方案之會議型式。
召開腦力激盪會議一般以十至十五人最為適宜，主持人應於會議前先將 相關資料提供成員參考，且告知討論之主題並讓成員熟悉此方法進行之程 序，會議開始時由主持人引導集體成員進行構想發展，同時將與會成員提出 之意見按順序公開紀錄，且所有構想均須公開於白板或海報紙上，讓團體成 員能夠清楚省視，以利激發集體之創造力。然而，會議中所提出之意見，其 他成員皆不能對構想之可行性進行評估或批評【5】。此外，召開腦力激盪會 議亦需遵循下列四大規則【20】：
一、禁止批評
針對成員提出之構想，絕不對其優缺點進行評價，以免阻礙與會成 員之思考。
二、自由聯想
與會成員自由聯想，只要有任何想法不管是否可行均可立即提出，
但需自我控制不說廢話。
三、多多益善
創意或構想越多越好。
四、歸納並改進
可將他人提出之創意稍加改善，成為更好之構想。
然而，於研擬評估準則時，根據 Keeney 與 Raiffa【43】之建議，需注意 以下幾項原則：
一、完整性（completeness）
研擬出之評估準則，必須能完全考慮所欲決策之問題，不能有所遺 漏。
二、操作性（operational）
研擬出之評估準則，必須能透過量化或質化之研究工具進行衡量。
三、分解性（decompose）
研擬出之評估準則，若衡量層面涵蓋過廣時，可再分解成數個層面 下之評估準則。
四、無重複性（nonredundancy）
研擬出之評估準則，不能於同一層面中存在其衡量層面相近之評估 準則。
五、最小規模性（minimal size）
研擬出之評估準則，必需以最小規模之形式來評估問題，但仍需符 合以上四項原則。
另外，建立層級架構之程序依 Saaty 於 1980 年所指出可使用前瞻層級程 序（forword process hierarchy）及後顧層級程序（backward process hierarchy）
等兩項方式，前瞻層級程序係由上而下之演繹法，後顧層級程序係由下而上 之歸納法【53】。本研究首先確立第一層最終目標為市場接受度，爾後由上而 下推導下一層之評估指標，故屬於使用前瞻層級程序法來建立層級架構。
本研究舉行腦力激盪會議之整體過程依循上述原則進行評估準則之研 擬。最後，當會議累積一定數量之構想後，必須針對所有意見進行探討，評 估所有方案之可行性，以篩選最具價值之意見，目前常見之評估方法包括德 爾菲法、情景分析法、趨勢外推法、相關矩陣法、文獻調查分析法及決策樹 等分析方法。然而，依據Michael Adler 等學者於 1996 年之研究指出，德爾 菲法可使用於下列時機【47】。
一、問題無精確分析之技術，但可藉由資料蒐集方式主觀判斷。
二、問題無過去或現存之經驗可供參考。
三、問題需藉由判斷技術或政策觀點進行探討與評估。
依據上述觀點，本研究採用德爾菲法作為腦力激盪會議後之評估方法。
3.3.2 德爾菲法－層級架構之構建
經腦力激盪法研擬出評估準則之初步架構後，為挑選學者專家所認定真
正具有影響之評估準則，並剔除不認同之指標，因此，採用德爾菲法進行問 卷之編製與調查，使專家對於所有評估準則能獲得一致性之共識。因此，本 節將介紹德爾菲法之起源及演變與進行步驟，並說明德爾菲法之適用時機、
學者專家之具備條件及其優缺點，最後詳述本研究透過德爾菲之理論基礎及 操作步驟，運用於問卷設計及結果分析之整體設計過程。
一、德爾菲法之起源及演變
德爾菲名稱源至於古希臘神廟Delphi，在此處人們可以得到來自神 之忠告與預測，近年來遂成為研究工具之名稱，係取其預測未來之涵義
【34】。而德爾菲法最早起源於1944年所開始發展之技術預測研究，當 時Arnold將軍委託Theodor von Karman進行與國防相關之未來技術能力 預測【30】，到了1948年美國空軍贊助蘭德公司（Rand Corporation）所 從事之一項國防研究計畫「Project Delphi」，此計劃之研究主題係衡量 癱瘓美國軍需工業之最佳攻擊目標群，以及攻擊所需之原子彈數量，以 前蘇聯戰略計畫設計者為專家群，期望結果能獲得專家一致性意見。
到了1950年Olaf Helmer and Norman Dalkey等人開始倡導使用該技 法，並於1959年發表不精確科學之認識論（The Epistemology of the Inexact Sciences）論文，奠定了預測哲學之基礎【30】，此篇論文主張 在一尚未發展之新領域中，允許使用專家之意見與評論來制定科學法 則。1964年Gorden and Helmer在蘭德報告中所發表之長期預測研究報 告，將德爾菲法引用於國防體系外之其他領域上，主要致力於預測可能 之發明與新技術變動所造成之社會與經濟衝擊【47】，直至今日已逐漸 廣泛運用於政府機構、學術單位、科技、預算經費與生活品質等各領域 中，成為相關資源監測評估以及環境影響評估計畫之重要輔助決策工具 之一【44、50】。
二、德爾菲法之進行步驟
德爾菲法係一種結構性之團體溝通過程，參與成員允許充分表達意 見，且每個成員意見均受同等重視，基於此前提由專家共同決策問題
【46】，故德爾菲屬於群體決策（group decision making process）技術之 一。該技術之運用係透過一組專家（a panel expert）或德爾菲小組（Delphi
panel），針對特定主題有系統地設計問卷交由專家填寫，然而，學者 Fowles指出單一專家有時會造成偏見，而群體開會討論則會發生聽從領 導者及不願放棄先前所確定之意見等弊病【34】，為避免專家群彼此間 面對面討論或對質而造成互相影響，故問卷通常採用郵寄之方式進行調 查並以匿名方式表達意見，回收後將意見加以蒐集並進行彙整及分析之 動作，同時設計第二份問卷，再發送第二份問卷及第一份問卷之結果給 予每位成員，再次蒐集整合第二回問卷之意見，如此反覆針對同一主題 不斷修正並編制問卷數次，從中獲取最佳之共識結果，直到獲得一致性 之協議為止【1】。
問卷調查所重複之次數，端視專家一致認同之程度而定，當全體共 識已達成或已彙集足夠之資訊，則問卷調查即可停止，然而，其重複次 數仍不宜過多，Hwang等學者提出問卷回覆率（response rate）會隨著重 複調查的次數增加而下降【38】，因此，Green, Hunter and Moore等學者 認為二至三回之問卷次數，便足以達成共識程度，更多次數可能使專家 對於議題修訂不再提供意見，並且降低問卷之回覆率【35】。而Doke and Swanson【33】則認為進行三至四回較為適當，第一回主要著重於探索 主題以及其他額外資訊之貢獻。第二、三回藉由回饋機制影響並修正專 家之見解，逐漸達到一定程度之一致意見。最終回之所有資訊已被彙整 分析，因此確立最後之評估報告。關於德爾菲法之進行步驟歸納如下
【14】：
(一) 界定出所欲探討之主題範圍並成立德爾菲小組，參與成員首先需對 此技法有相當程度之瞭解，並熟悉統計方法及具備設計問卷之能力。
(二) 首先設計開放式問卷，讓受訪者針對研究主題自由填寫；或由研究 者初步擬定問項，讓受訪者參考並提出相關意見增補其問項內容。
(三) 開放式問卷回收後，參考專家所提之意見整理出第一次問卷，並交 由專家填寫。
(四) 第一次問卷回收後，透過統計方法將專家意見加以彙整，製成敘述 統計表。透過平均數、標準差與中位數等資訊表達專家之評選結果。
將此統計結果連同專家所添補之資料附上原問卷，組成第二次問
卷，將此問卷再交由專家群作答。此目的係使專家有機會檢視群體 之意見，作為修正自己意見之機會。
(五) 回收第二次問卷後，若發現某一問項已趨一致，則可不需放入此問 項，而其他未達一致之問項，附上第二次問卷之統計結果，組成第 三次問卷繼續施測。
(六) 重複前兩步驟，直至所有問項之反應結果趨於一致為止。
(七) 以最後一次問卷之結果做為分析之資料。
圖3.2係德爾菲法操作步驟之流程【2】。
圖3.2 德爾菲操作步驟流程 資料來源：【2】
專家小組之組成
（考量專業性、配合意願與多元性等）
確立評估結果 一致性檢定 重複問卷調查
（包含統計分析結果）
統計分析後，將評估項目作修正，並回 饋分析結果於下次調查問卷上
檢定合格
檢 定 不 合 格 依研究目的謹慎設計第一次問卷並進
行調查
德爾菲法執行過程係根據參與成員之專業經驗、直覺與價值觀作為 判定之標準，因此較具主觀色彩，然而，卻能以多元性之觀點避免預測 之偏頗，達到集思廣益之效果，並減少面對面之爭議，謀求一致性之共 識結果，因而成為目前制定決策過程最廣泛應用之決策方法。Hasson等 學者認為使用德爾菲法解決問題具有下列意義【36】：
(一) 在控制範圍內針對現有之資訊加以判斷與連結。
(二) 揭露假設或導引不同觀點之訊息。
(三) 尋求群體之共同意見。
(四) 提供反應者關於該領域之不同及相關層面之資訊。
因此，當研究有必要以專家判斷來從事科技預測時，德爾菲法是一 項良好的分析工具【8】。
三、德爾菲法之適用時機
Linstone and Turoff認為德爾菲法係一個用於團體溝通問題之結構 化方法【46】。Westbrook則定義為一個幫助團體達成一致性意見之過程
【60】。而關於該技法之適用時機，學者Linstone and Turoff認為於下列 情況下方可應用【46】：
(一) 問題之性質無法獨自提供精確之分析技術，然而卻可於群體主觀判 斷之基礎上取得好處。
(二) 問題涵蓋範圍大或較複雜，需依賴群體共同解決，且每個人可能背 景迥異且具有不同經驗或專業知識，但卻無適當之溝通方式。
(三) 因時間與成本之限制，使得經常性之群組會議無法實行。
(四) 避免溝通時個人間嚴重之意見衝突或政策上之不滿。
(五) 保護不同領域之參與者，避免由於人數多寡或個人優勢之因素，造 成結果失真。
