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[PDF] Top 20 氟離子佈植對低溫多晶矽薄膜電晶體之研究

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氟離子佈植對低溫多晶矽薄膜電晶體之研究

氟離子佈植對低溫多晶矽薄膜電晶體之研究

... Acknowledgement 僅以此篇論文獻給我親愛的父母,感謝他們年來的支持與鼓 勵,讓我能無後顧憂的從事實驗研究,順利完成我的學業。 在交大求學的這兩年中,要特別感謝我的兩位指導教授,張俊彥 教授是一位名滿中外的學者,他在學術研究的精神和追求卓越創新的 勇氣值得我加學習。另外,也感謝張鼎張教授的殷勤指導,在我遇 ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體光漏電流的研究

低溫多晶矽薄膜電晶體光漏電流的研究

... 薄膜光漏研究 Study on Photo Leakage Current of Low Temperature poly Silicon Thin Film Transistors 研 究 生:胡晉瑋 Student:Chin-Wei Hu ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體變動性之可靠度的研究

低溫多晶矽薄膜電晶體變動性之可靠度的研究

... 低溫多晶矽薄膜電晶體變動性 之可靠度研究 Study of Reliability Variation for Low Temperature Polysilicon Thin Film Transistors.[r] ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體直流偏壓下電容-電壓特性之研究

低溫多晶矽薄膜電晶體直流偏壓下電容-電壓特性之研究

... 摘要 複薄膜(poly-Si TFT)最近幾年在液晶顯示器(AMLCD)及有機發光二極 (AMOLED)顯示器應用中,由於其優異的元件特性,而成為眾所注目的焦點。與非薄 膜(a-si ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體元件特性應用於光感測器之研究

低溫多晶矽薄膜電晶體元件特性應用於光感測器之研究

... ii 作複合的動作。我們研究直流偏壓狀態下薄膜主要的兩大劣化機 制,熱載效應與自發熱效應,這樣的劣化所導致的光漏流亦會嚴重影響我們 在設計感測路時的困難度。當光照在經過熱載劣化後的元件,在空乏區域裡 ... See full document

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低溫複晶矽薄膜電晶體之遷移率與可靠度之研究

低溫複晶矽薄膜電晶體之遷移率與可靠度之研究

... 式結構。我們發現與傳統複薄膜相較之下,有著氮化覆蓋層的複 薄膜有較好的特性。我們提高了導通流及場效遷移率,這是因為氮 ... See full document

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具高介電常數閘極絕緣層的低溫多晶矽薄膜電晶體之研究

具高介電常數閘極絕緣層的低溫多晶矽薄膜電晶體之研究

... scattering)。另外,氮氣和氨氣 漿表面處理可個別地明顯地增加二氧化鉿薄膜的載遷移率約 ...來增加在高的閘極偏壓下遷移率,可個別地提升二氧化鉿薄膜 ... See full document

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低溫複晶矽薄膜電晶體其結晶方式與新穎結構之研究

低溫複晶矽薄膜電晶體其結晶方式與新穎結構之研究

... 的特性改善,這是因為我們使用的結成核機制不同於傳統,使得結顆粒變 大且缺陷變少,因此我們得到一個高品質的通道層而這種新式結構非常適合應用 在未來高性能大面積元件製程中。 最後,我們研究利用間隙壁(spacer)技術來做 複 薄膜的奈米線通 ... See full document

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低溫複晶矽薄膜電晶體應用於光感測之可行性研究

低溫複晶矽薄膜電晶體應用於光感測之可行性研究

... 薄膜 薄膜 薄膜 ... See full document

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主動顯示器用低溫多晶矽薄膜電晶體之元件特性與補償電路研究

主動顯示器用低溫多晶矽薄膜電晶體之元件特性與補償電路研究

... 增加的物理機制,首先將緩衝層利用氬(Argon)進行表面轟擊,使 薄膜與緩衝層介面產生許缺陷密度,我們發現經由緩衝層表面轟擊元件, 其光漏與照光下次臨界擺幅特性具有顯著的改善,由於薄膜吸收被光後 ... See full document

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具有氟、氮離子摻雜源/汲極低溫複晶矽薄膜電晶體之特性研究

具有氟、氮離子摻雜源/汲極低溫複晶矽薄膜電晶體之特性研究

... 在此一併表達深摯的感謝。 啟銘與唐豪,很開心這兩年有你們一路相伴與相挺,不論是感情上或實驗上,在我 人生最低潮的時候,適時给予關懷與協助,這份革命情感我畢生永難忘懷。當然還要感 謝逸哲、建文、昇翰學長們、怡學姐、柏宇同學、誼明與逸侑學弟,有了你們,讓我 的生活著實了一份精采。同時,感謝一德、弘根、千睿學長、秀娟、宛芳、建民、志 晟、任偉、立夫、亞諭、原園…等等諸事幫忙。 ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體非匹配效應之研究

低溫多晶矽薄膜電晶體非匹配效應之研究

... 感謝,士哲學長、皓彥學長與彥甫學長,謝謝你們不厭其煩的解 決我許課業上的問題,適時的督促我讓我往前邁進。 感謝,實驗室的同學們,可青、皓麟、建焜、國烽、以及婉萍, 和你們的相處是我兩年來最快樂的時光,一起走過一起奮鬥的足跡我 ... See full document

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高性能金屬閘極低溫多晶矽薄膜電晶體之研究

高性能金屬閘極低溫多晶矽薄膜電晶體之研究

... In chapter 3, it shows the experimental data and the detail discussions of characteristics of high dielectric constant TFTs with metal gate includes high drive c[r] ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體溫度效應統計性研究

低溫多晶矽薄膜電晶體溫度效應統計性研究

... 光電工程研究所碩士班 碩 士 論 文 A Thesis Submitted to Institute of Electro-Optical Engineering College of Electrical Engineering and Computer Science National Chiao Tung University in Partial Fulfill[r] ... See full document

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低溫複晶矽薄膜電晶體之氟鈍化製程與可靠度的研究

低溫複晶矽薄膜電晶體之氟鈍化製程與可靠度的研究

... 國誠、余俊、伯浩、宗元、梓翔、源俊、俊嘉、統億、錦石、恆、張婷以及李 耀仁、林家彬學長,有你們的陪伴與討論,實驗過程不再枯燥乏味而是充滿著歡 樂。因為有你們的幫忙與笑聲,讓我能以快樂的心情面實驗上與生活上的挑戰。 由衷地感激在實驗中曾給我幫助的朋友們,特別是計測實驗室的彭作煌先 生、教學實驗室的彭兆光先生,與奈米中心的徐秀鑾、林素珠、黃月美、楊月嬌、 ... See full document

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高性能低溫多晶矽薄膜電晶體之製程技術與特性研究

高性能低溫多晶矽薄膜電晶體之製程技術與特性研究

... 制來達成粒橫向成長的目的,首先利用傳統間隙壁法製作出 50 奈米大小的種,並 在局部微小區域產生兩種厚度不同的非薄膜,當準分子雷射照射在此一結構上,使 較薄的區域完全熔融時,而間隙壁較厚的區域部分熔解,粒便會以這些非間隙壁 為結起始點,做橫向成長,再藉由適當的安排間隙壁與元件通道的相關位置,我們將 ... See full document

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對應低溫多晶矽薄膜電晶體變動性之電路模擬技術之研究

對應低溫多晶矽薄膜電晶體變動性之電路模擬技術之研究

... 根據提出的函數式,建立一個考慮元件參數變異的新描述模式,並將其應用在路 模擬,以差動與環形震盪器為例,比較其路中元件參數用新提出方法與傳統高斯分 配所產生後模擬路的輸出結果。模擬結果顯示出,用提出的新方法模擬路與實際量 測到的元件參數直接帶入模擬的結果非常相像,這足以反應所提出模式的正確性。 ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體的均勻度統計性研究

低溫多晶矽薄膜電晶體的均勻度統計性研究

... 光電工程系 光電工程所碩士班 碩 士 論 文 A Thesis Submitted to Institute of Electro-Optical Engineering College of Electrical Engineering and Computer Science National Chiao Tung University in Partial Ful[r] ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體元件特性分布於用電路模擬之研究

低溫多晶矽薄膜電晶體元件特性分布於用電路模擬之研究

... 間的變異性路性能產生影響。而從模擬結果,我們發現變異性行 為,也可以藉由定義原始資料的四分位差值來描述,與函數並無絕相關,並且 也可以得到一個與真實分布類似的分布。因此我們在一般商用模擬軟中,仍然 可以採用高斯分布來進行路模擬,並可以得到比過去更加精準的模擬結果。 ... See full document

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低溫多晶矽薄膜電晶體數位電路變動性之模擬研究

低溫多晶矽薄膜電晶體數位電路變動性之模擬研究

... The maximum clock frequency of a shift register defined as the maximum frequency for bit error-free operation depends on the register’s propagation delay and, as such, is a function of d[r] ... See full document

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